一种激光器及其制造方法技术

本申请实施例提供一种激光器及其制造方法，所述激光器包括：衬底，所述衬底上自下而上依次设置有第一限制层、量子阱和第二限制层；脊形成层，设置在所述第二限制层上，所述脊形成层包括多个波导结构，所述多个波导结构阵列式分布；欧姆接触层，设置在所述脊形成层的脊区上表面；绝缘层，设置在所述脊形成层的脊区侧面以及所述脊形成层的沟槽区；金属层，设置在所述欧姆接触层和所述绝缘层上。本申请实现了在不降低激光器输出光功率的同时，提高激光器的COMD电流阈值。

【技术实现步骤摘要】
一种激光器及其制造方法
本申请涉及半导体
，具体而言，涉及一种激光器及其制造方法。
技术介绍
大功率半导体激光器具有体积小、效率高、易于集成等优点，目前已经被广泛应用于测距、照明、印刷、材料处理、机械加工和医疗卫生等领域。灾变光学镜面损伤(Catastrophicopticalmirrordamage,COMD)是大功率激光器的一种主要的失效方式，提高COMD电流阈值可以有效的提高半导体激光器的输出光功率以及可靠性。COMD失效主要是由芯片的端面对激光的吸收产生的热效应引起的，反射光进入激光腔内带来的扰动更会增加COMD失效的几率。对于脊波导结构的大功率半导体激光器，虽然可以通过增加波导宽度来增加激光器的输出功率，但是波导宽度的增加会引起波导模式数量的增加，由于波导模式之间存在着激射的竞争，因而更高数目波导模式的激光腔更容易受反射光干扰，使得激光器也更容易发生COMD失效。
技术实现思路
本申请实施例的目的在于提供一种激光器及其制造方法，用以实现在不降低高功率激光器输出光功率的同时，提高激光器的COMD电流阈值本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光器，其特征在于，包括：/n衬底，所述衬底上自下而上依次设置有第一限制层、量子阱和第二限制层；/n脊形成层，设置在所述第二限制层上，所述脊形成层包括多个波导结构，所述多个波导结构阵列式分布；/n欧姆接触层，设置在所述脊形成层的脊区上表面；/n绝缘层，设置在所述脊形成层的脊区侧面以及所述脊形成层的沟槽区；/n金属层，设置在所述欧姆接触层和所述绝缘层上。/n

【技术特征摘要】
1.一种激光器，其特征在于，包括：
衬底，所述衬底上自下而上依次设置有第一限制层、量子阱和第二限制层；
脊形成层，设置在所述第二限制层上，所述脊形成层包括多个波导结构，所述多个波导结构阵列式分布；
欧姆接触层，设置在所述脊形成层的脊区上表面；
绝缘层，设置在所述脊形成层的脊区侧面以及所述脊形成层的沟槽区；
金属层，设置在所述欧姆接触层和所述绝缘层上。


2.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述波导结构为掩埋波导，由光场限制层构成，所述光场限制层的折射率不等于所述脊形成层的折射率，所述光场限制层设置在所述第二限制层和所述脊形成层之间，位于所述脊区内。


3.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述激光器的第一端面设置有高反膜，所述高反膜的反射率高于80％，所述激光器的第二端面设置有低反膜，所述低反膜的反射率低于15％。


4.根据权利要求3所述的激光器，其特征在于，所述波导结构为脊形波导，所述脊形波导的脊条宽度不大于50μm。


5.根据权利要求4所述的激光器，其特征在于，所述波导结构为锥形脊波导，所述波导结构在所述第一端面的脊条宽度小于所述波导结构在所述第二端面的脊条宽度。

【专利技术属性】
技术研发人员：杨国文，唐松，赵卫东，
申请(专利权)人：度亘激光技术苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32