【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种惯性传感器，更具体地涉及一种具有优异耐冲击性的惯性传感器，例如加速度传感器和回转仪。
技术介绍
近年来，随着采用MEMS(微机电系统)技术的微型制造技术的发展，诸如加速度传感器和回转仪的惯性传感器已经变得更小型化、更加复杂且价格更低。在上述背景下，希望作为MEMS装置的惯性传感器能用于汽车导航系统、汽车气囊控制、避免照相机或者可携式摄像机的晃动、移动电话、机器人姿势控制、用于游戏的手势输入识别以及检测HDD旋转和施加在HDD上的冲击。希望惯性传感器用于检测运动的各种装置中。有时不希望的大冲击施加在检测运动的装置上。因此，该大冲击可能会施加在安装于上述装置上的惯性传感器上。例如，对于用于汽车(例如，车辆气囊)的惯性传感器，如果汽车变形或者倾覆，则有可能会施加在正常行驶期间不会产生的大冲击。如果移动装置被错误地停止，则可容易地想象该大冲击。如果用户粗暴地操作游戏用游戏操控台，则会给游戏操控台施加极大的冲击。上述意外的和不希望的冲击被认为是3000G或5000G，因此安装在上述装置上的惯性传感器需要大的耐冲击性。普通的惯性传感器具有包括配重的基本结...
【技术保护点】
一种惯性传感器，包括：传感部分，其具有由梁支撑的配重，该配重是可运动部分；以及配重止动件，其限制配重的可运动范围，该配重止动件以给定间距设置在配重的附近，并成为利用ＭＥＭＳ技术所加工的惯性传感器的衬底的一部分。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：石川宽，中村义孝，德永博司，永田宪治，
申请(专利权)人：富士通媒体部品株式会社，富士通株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。