紫外线固化设备制造技术

本发明专利技术实施例提供一种紫外线固化设备，包括工作台、升降驱动装置，该升降驱动装置用于驱动工作台升降，该升降驱动装置包括控制模块和多个升降模块，多个升降模块相对于工作台分散设置，各升降模块均包括升降驱动单元和高度检测单元，升降驱动单元用于驱动工作台升降；高度检测单元邻近升降驱动单元设置，用于实时检测工作台的高度值；控制模块用于计算任意两个升降模块中的高度检测单元检测到的高度值的差值，并判断该差值是否大于预设最大差值，若是，则调节相应升降模块中的升降驱动单元的升降速度，以使差值小于等于预设最大差值。本发明专利技术实施例提供的紫外线固化设备，可以保证工作台的平面度满足要求，提高升降速度和重复定位精度。

【技术实现步骤摘要】
紫外线固化设备
本专利技术涉及半导体制造
，具体地，涉及一种紫外线固化设备。
技术介绍
液晶屏的生产流程中，紫外光固化是较为关键的工序之一。在进行此工序的过程中，通常使用机械手将液晶屏运送至固化设备中，并放置于工作台上，工作台通常利用升降驱动装置驱动工作台作升降运动，以使其能够承载液晶屏升降，将液晶屏调整至指定的高度位置处。由于液晶屏尺寸较大、平面度要求较高，且工作台升降速度较快，故而对升降驱动装置的高速平稳升降及重复定位精度要求较高。但是，目前所使用的升降驱动装置具有反应速度慢，且重复定位精度差。
技术实现思路
本专利技术实施例旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种紫外线固化设备，其不仅可以保证工作台的平面度满足要求，而且还可以提高升降速度和重复定位精度。为实现上述目的，本专利技术实施例提供了一种紫外线固化设备，包括工作台和升降驱动装置，所述工作台用于承载待加工件，所述升降驱动装置用于驱动所述工作台升降，所述升降驱动装置包括控制模块和多个升降模块，其中，多个所述升降模块相对于所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种紫外线固化设备，包括工作台和升降驱动装置，所述工作台用于承载待加工件，所述升降驱动装置用于驱动所述工作台升降，其特征在于，所述升降驱动装置包括控制模块和多个升降模块，其中，/n多个所述升降模块相对于所述工作台分散设置，各所述升降模块均包括升降驱动单元和高度检测单元，其中，所述升降驱动单元用于驱动所述工作台升降；所述高度检测单元邻近所述升降驱动单元设置，用于实时检测所述工作台的高度值，并将其发送至所述控制模块；/n所述控制模块用于计算任意两个所述升降模块中的所述高度检测单元检测到的所述高度值的差值，并判断该差值是否大于预设最大差值，若是，则调节相应升降模块中的升降驱动单元的升降速度，以使...

【技术特征摘要】
1.一种紫外线固化设备，包括工作台和升降驱动装置，所述工作台用于承载待加工件，所述升降驱动装置用于驱动所述工作台升降，其特征在于，所述升降驱动装置包括控制模块和多个升降模块，其中，
多个所述升降模块相对于所述工作台分散设置，各所述升降模块均包括升降驱动单元和高度检测单元，其中，所述升降驱动单元用于驱动所述工作台升降；所述高度检测单元邻近所述升降驱动单元设置，用于实时检测所述工作台的高度值，并将其发送至所述控制模块；
所述控制模块用于计算任意两个所述升降模块中的所述高度检测单元检测到的所述高度值的差值，并判断该差值是否大于预设最大差值，若是，则调节相应升降模块中的升降驱动单元的升降速度，以使所述差值小于等于所述预设最大差值。


2.根据权利要求1所述的紫外线固化设备，其特征在于，各个所述升降模块还包括辅助支撑单元，所述辅助支撑单元用于向所述工作台施加恒定支撑力。


3.根据权利要求2所述的紫外线固化设备，其特征在于，所述辅助支撑单元包括气缸，所述气缸具有竖直设置的活塞件，所述活塞件的上端用于支撑所述工作台；所述气缸中的气体压力被设置为使所述活塞件能够向所述工作台施加所述恒定支撑力。


4.根据权利要求3所述的紫外线固化设备，其特征在于，所述辅助支撑单元还包括浮动连接件，所述浮动连接件与所述活塞件的上端浮动连接，所述活塞件通过所述浮动连接件支撑所述工作台。


5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵兴，孙增强，
申请(专利权)人：北京七星华创集成电路装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11