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本发明实施例提供一种紫外线固化设备，包括工作台、升降驱动装置，该升降驱动装置用于驱动工作台升降，该升降驱动装置包括控制模块和多个升降模块，多个升降模块相对于工作台分散设置，各升降模块均包括升降驱动单元和高度检测单元，升降驱动单元用于驱动工作...
该专利属于北京七星华创集成电路装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京七星华创集成电路装备有限公司授权不得商用。

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