【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种惯性传感器,更具体地说,本专利技术涉及具有优良的抗冲击性的惯性传感器,诸如加速度传感器或回转仪。
技术介绍
近年来,由于应用MEMS(微电机系统)技术的微处理技术的发展,因此惯性传感器(例如加速度传感器或回转仪)同时实现了小型化、高性能和低成本。在这种环境下,希望将MEMS装置惯性传感器安装在需要运动感测的各种装置中,诸如用于车辆导航的装置,车用气囊控制装置,用于照相机、摄像机等的避免由于的手抖动而导致图像模糊的装置,蜂窝电话装置,机器人姿势控制装置,游戏手势(game gesture)输入识别装置,HDD转动和振动感测装置等。此外,这种需要运动感测的装置有时会受到较大的意外振动,且因此安装在这种装置中的惯性传感器有受到大的振动的危险。例如,在诸如车用气囊的汽车配件中,在发生后端碰撞或车辆翻滚时,在正常操作中不会发生的较大振动可能会作用于惯性传感器,且在蜂窝电话或类似物的情况下,当蜂窝电话由于失误而掉落时会发生振动。此外,在娱乐设备(诸如游戏设备)的情况下,当使用者用力地操作该游戏设备时可能会发生非常大的振动。这种意外施加的偶然振动可能会达到 ...
【技术保护点】
一种惯性传感器,其包括:传感器部分,该传感器部分具有固定部件、具有小于所述固定部件的高度的预定大小的高度的重物部分、和连接所述重物部分与所述固定部件的梁部分;板状第一止挡部分,其覆盖所述重物部分且连接到所述固定部件上,并与所 述重物部分相隔预定大小的间隙;和平板状第二止挡部分,其通过预定高度的隆起部连接到所述固定部件,该隆起部位于与第一止挡部分相对的一侧。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:德永博司,永田宪治,小野正明,花泽敏夫,石川宽,
申请(专利权)人:富士通媒体部品株式会社,富士通株式会社,
类型:发明
国别省市:JP[日本]
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