【技术实现步骤摘要】
一种提高系统对高度差测量精度的补偿模型
本专利技术涉及精度补偿
，具体是一种提高系统对高度差测量精度的补偿模型。
技术介绍
由于测工件高度差是要在玻璃平面上进行，因此平台的平面度对高度差的测量精度有着较大影响。在设备运输过程中极易发生碰撞而导致设备平面变化，此外，在使用过程中，设备平面也可能受重力影响，随着时间的推移而发生变化，这些情况都会导致设备的平面度发生变化，使得工件测量得到的高度差发生变化，因此为了确保工件高度差的动态重复精度，首先要进行平面补偿；除此之外，测量工件的高度差需要上下移动z轴，因此z轴的垂直度也会对工件高度差的测量产生影响，使得工件的高度差相对于真值较大，因此还需要进行Z轴线性补偿。综上，该提高系统对高度差测量精度的补偿模型包括平面补偿以及z轴线性补偿两个方面。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种提高系统对高度差测量精度的补偿模型，以解决现有技术中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种提高系统对高度差测量精度的补偿模型，包括平面补偿...
【技术保护点】
1.一种提高系统对高度差测量精度的补偿模型，其特征在于：该补偿模型包括平面补偿和Z轴线性补偿，所述平面补偿用于当机台的玻璃平面状态发生轻微改变时保证高度差的测量精度，所述Z轴线性补偿用于当机台z轴状态发生轻微改变时，保证高度差的测量精度。/n
【技术特征摘要】
1.一种提高系统对高度差测量精度的补偿模型，其特征在于：该补偿模型包括平面补偿和Z轴线性补偿，所述平面补偿用于当机台的玻璃平面状态发生轻微改变时保证高度差的测量精度，所述Z轴线性补偿用于当机台z轴状态发生轻微改变时，保证高度差的测量精度。
2.根据权利要求1所述的一种提高系统对高度差测量精度的补偿模型，其特征在于：
所述平面补偿包括以下步骤：
S1、点白光聚焦之后对待进行平面标定的平面区域采集激光点三维坐标数据以及测量激光点打出的距离数据；
S2、设置待进行平面标定的平面区域x方向距离、y方向距离、x方向步长和y方向步长；
S3、将采集到的激光点三维坐标数据拟合成曲面；
S4、将拟合的曲面与理想平面之间的差值作为平面补偿值；
S5、标定成功，完成对平面标定。
3.根据权利要求2所述的一种提高系统对高度差测量精度的补偿模型，其特征在于：
所述步骤S2还包括以下步骤：
S2.1判断激光点是否超过待进行平面标定的平面区域设定的范围；
S2.2记录当前点激光点三维坐标数据；
S2.3将采集激光点向x方向或者y方向移动一个步长。
4.根据权利要求3所述的一种提高系统对高度差测量精度的补偿模型，其特征在于：
所述步骤2.1还包括以下步骤：
S2.1.1若判断S2.1结果为是，继续判断采集到的激光点点数是否足够；
S2.1.2若判断S2.1结果为否，继续判断当前激光点测量出的距离数据是否是激光测量量程范围内的正常值。
5.根据权利要求4所述的一种提高系统对高度差测量精度的补偿模型，其特征在于：
所述步骤S2.1.1中，判断采集到的点数若是足够，执行步骤S4，判断采集到的点数若是不足够，直接标定失败，结束平面标定；
所述步骤S2.1.2中，判断当前激光点测量出的距离数据若是激光测量量程范围内的正常值,则执行步骤S2.2；
所述步骤S2.1.2中，判断当前激光点测量出的距离数据若不是激光测量量程范围内的正常值，则执行步骤2.3。
6.根据权利要求2所述的一种提高系统对高度差测量精度的补偿模型，其特征在于：
所述步骤S3将采集到的激光点数据拟合成曲面，根据公式：
wj*a+i＝wj*a+i+1、wj*a+i＝w(j+1)*a+i
倒数第二个约束公式表示左右权重相等，上下权重相等。
其中，p是迭代次数，p可自由设定，ui和ui+1为将待进行平面标定的平面区域划分为不同区间的区间节点，u为激光点照射到的区间，Ni,p(u)为根据计算得到的p次样条函数基函数即关于x方向上区间和y方向上区间的基函数方程将ti和tj替换u即可，ti为当前点的三维坐标值中x值归一化后在基函数上的取值，tj为当前点...
【专利技术属性】
技术研发人员：柯雪萌，刘刚，杜泽峰，万群，王晓城，
申请(专利权)人：珠海博明视觉科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44
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