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一种提高系统对高度差测量精度的补偿模型技术方案
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文档序号:26257345
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本发明公开了一种提高系统对高度差测量精度的补偿模型,属于精度补偿技术领域,本专利发明的优点在于当机台的玻璃平面或者z轴状态发生轻微改变时,可以通过平面标定及z轴标定,保证高度差的测量精度。将高度差测量精度从原来补偿前的70u提高到补偿后的4...
该专利属于珠海博明视觉科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过珠海博明视觉科技有限公司授权不得商用。
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