加速度计测装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及加速度计测装置，其能够取得三轴加速度传感器的输出校正所需的偏移或灵敏度和偏移的双方。加速度计测装置具备：加速度传感器（１），其检测三轴方向的加速度；数据取得部（５Ａ），其取得三轴输出数据；数据选择部（１３），其判断反复取得的三轴输出数据是否合适，并选择；数据积蓄部（１４），其积蓄所选择的三轴输出数据；基准点推测部（１５），其根据所积蓄的预定数量的三轴输出数据在将各轴成分作为坐标值时的三维正交坐标空间中的分布，推测在三维正交坐标空间上确定的基准点的坐标值；以及偏移校正计算部（１７），其根据基准点的坐标值，校正加速度传感器（１）的三轴输出数据的偏移。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】加速度计测装置
本专利技术涉及进行双轴或三轴加速度传感器的输出校正的加速度计测装置，更具体地说，本专利技术涉及如下的加速度计测装置，通过将加速度计测装置的姿势朝向特定方向而无意识地反复取得双轴或三轴加速度传感器的输出数据，从而能够取得双轴或三轴加速度传感器的输出校正所需的偏移(offset)或灵敏度和偏移双方。
技术介绍
近年来，作为可以安装到便携式设备的轻量小型的三轴加速度传感器，已开发出使用了MEMS(微机电集成系统：Micro Electro MechanicalSystems)技术的半导体器件的压电电阻型三轴加速度传感器(例如，参照专利文献1)。图36是示出现有的压电电阻型三轴加速度传感器的概要结构的立体图，图中符号201表示硅基板，201a表示支撑部，201b表示锤部，201c表示位移部。通过蚀刻在硅基板201上形成位移部201c、用于支撑该位移部201c的支撑部201a、以及用于使位移部201c变形的锤部201b。并且，压电电阻R1～R12形成在位移部201c上。若对硅基板201施加加速度，则根据加速度的方向和大小，锤部201b使位移部201c变形。这样就会对压电电阻R本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加速度计测装置，其特征在于，所述加速度计测装置具备：　　　　加速度传感器，其检测双轴或三轴方向的加速度；　　　　输出数据取得单元，其取得该加速度传感器的双轴或三轴的输出数据；　　　　输出数据积蓄单元，其积蓄该输出数据取得单元所取得的输出数据；　　　　基准点推测单元，其根据该输出数据积蓄单元所积蓄的预定数量的输出数据在将各轴成分作为坐标值时的二维或三维正交坐标空间中的分布，推测在该正交坐标空间上确定的基准点的坐标值；以及　　　　偏移校正单元，其根据该基准点推测单元所推测的所述基准点的坐标值，校正所述加速度传感器的输出数据的偏移。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2004-8-12 235606/2004;JP 2005-3-1 056597/20051.一种加速度计测装置，其特征在于，所述加速度计测装置具备：加速度传感器，其检测双轴或三轴方向的加速度；输出数据取得单元，其取得该加速度传感器的双轴或三轴的输出数据；输出数据积蓄单元，其积蓄该输出数据取得单元所取得的输出数据；基准点推测单元，其根据该输出数据积蓄单元所积蓄的预定数量的输出数据在将各轴成分作为坐标值时的二维或三维正交坐标空间中的分布，推测在该正交坐标空间上确定的基准点的坐标值；以及偏移校正单元，其根据该基准点推测单元所推测的所述基准点的坐标值，校正所述加速度传感器的输出数据的偏移。2.根据权利要求1所述的加速度计测装置，其特征在于，所述加速度计测装置具有输出数据选择单元，该输出数据选择单元判断所述输出数据取得单元所取得的输出数据是否合适而进行选择，所述输出数据积蓄单元积蓄所述输出数据选择单元所选择的输出数据。3.根据权利要求2所述的加速度计测装置，其特征在于，所述输出数据选择单元在每次由所述输出数据取得单元取得输出数据时计算与上一个取得的输出数据的差值，当该差值连续预定次数以上在预定值以内时，将所述输出数据判断为合适而进行选择。4.根据权利要求2所述的加速度计测装置，其特征在于，所述输出数据选择单元在每次由所述输出数据取得单元取得输出数据时计算与作为基准的输出数据的差值，当该差值大于预定值时，将所述输出数据判断为合适而进行选择。5.根据权利要求3或4所述的加速度计测装置，其特征在于，所述输出数据选择单元将所述差值连续在预定值以内的次数或时间信息附加给所述输出数据选择单元所选择的输出数据。6.根据权利要求5所述的加速度计测装置，其特征在于，所述输出数据积蓄单元根据所述输出数据选择单元所附加的次数或时间信息，废弃所述输出数据选择单元所选择的输出数据和所述输出数据积蓄单元已积蓄的输出数据之中的某一个。7.根据权利要求2所述的加速度计测装置，其特征在于，所述输出数据选择单元根据所述输出数据取得单元所取得的预定数量的输出数据在将各轴成分作为坐标值时的二维或三维正交坐标空间中的分布，推测圆或球面，将从该圆或球面起在预定距离以内的输出数据判断为合适而进行选择。8.根据权利要求7所述的加速度计测装置，其特征在于，所述输出数据选择单元将所述圆或球面的半径作为预定值推测该圆或球面。9.根据权利要求2所述的加速度计测装置，其特征在于，所述加速度计测装置具有数据变化判断单元，该数据变化判断单元判断所述输出数据选择单元所选择的输出数据与所述输出数据积蓄单元已积蓄的输出数据相比是否产生了预定值以上的变化，所述输出数据积蓄单元根据所述数据变化判断单元的判断结果，废弃所述输出数据选择单元所选择的输出数据或所述输出数据积蓄单元已积蓄的输出数据中的某一个。10.根据权利要求2所述的加速度计测装置，其特征在于，所述输出数据积蓄单元预先确定与所述加速度传感器的测定轴成线性关系的线性轴，在所述输出数据选择单元所选择的输出数据和所述输出数据积蓄单元中积蓄的输出数据之中，选择性地积蓄所述加速度传感器的测定轴或线性轴的成分为最大或最小的输出数据。11.根据权利要求10所述的加速度计测装置，其特征在于，所述输出数据积蓄单元所积蓄的输出数据是积蓄所述测定轴或所述线性轴的成分为最大或最小的输出数据和除此之外的一个以上的输出数据而成。12.根据权利要求1所述的加速度计测装置，其特征在于，所述基准点推测单元根据所述输出数据积蓄单元所积蓄的预定数量的输出数据在将各轴成分作为坐标值时的二维或三维正交坐标空间中的分布，在该正交坐标空间上确定圆或球面，将该圆或球面的中心坐标推测为所述基准点，所述偏移校正单元根据所述基准点推测单元所推测的所述圆或球面的中心坐标值，校正所述加速度传感器的输出数据的偏移。13.根据权利要求12所述的加速度计测装置，其特征在于，所述基准点推测单元利用统计性方法推测所述基准点的坐标值，使得所述预定数量的输出数据各自到所述基准点的距离的偏差最小。14.根据权利要求13所述的加速度计测装置，其特征在于，所述基准点推测单元将从所述预定数量的输出数据各自到所述基准点的距离的偏差作为相对于预定代表值的偏差。15.根据权利要求1所述的加速度计测装置，其特征在于，所述基准点推测单元根据所述输出数据积蓄单元所积蓄的预定数量的输出数据在将各轴成分作为坐标轴时的二维或三维正交坐标空间上的分布，在该正交坐标空间上确定椭圆或椭圆面，推测该椭圆或椭圆面的各主轴的长度和中心坐标值，所述偏移校正单元根据所述基准点推测单元所推测的所述椭圆或椭圆面的各主轴的长度和中心坐标值，校正所述加速度传感器的输出数据的灵敏度和偏移。16.根据权利要求15所述的加速度计测装置，其特征在于，所述基准点推测单元利用统计性方法推测所述椭圆或椭圆面的各主轴的长度和中心坐标值，使得所述预定数量的输出数据各自最...

【专利技术属性】
技术研发人员：山田力大，疋田浩一，佐佐木裕之，山下昌哉，
申请(专利权)人：旭化成电子材料元件株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]