一种免加热的凸模顶升式扩膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种免加热的凸模顶升式扩膜机，包括凸模顶升机构、收边圈、按压组件和载有晶圆裂片的环形治具和自粘保压圈，凸模顶升机构包括上端呈光滑曲面的圆柱型凸模、顶升杆、顶升气缸、支撑板以及稳速气缸，顶升气缸控制凸模上下循环往复移动，收边圈借助稳速气缸的顶伸动作，向上均匀扩撑开延展出的UV膜余料，按压组件包括按压气缸、按压杆、导杆导套组件、按压板以及加压气缸和加压板，该扩膜机利用凸模顶升机构、收边圈将UV膜自中心向外周均匀扩展，按压组件将环形治具紧密压合在工作台面上，待扩膜至调节裂片之间间距足够后，再罩上自粘保压圈，以此控制UV膜扩张后不会缩拢，再下料给下一工位进行拾取，实用方便。

【技术实现步骤摘要】
一种免加热的凸模顶升式扩膜机
本技术涉及裂片扩膜设备
，具体涉及一种免加热的凸模顶升式扩膜机。
技术介绍
晶圆片在经过激光切割阵列分裂成若干个裂片，在后续机械手拾取单元片工序之前，需要将裂片之间的间距扩大，而晶圆片是与UV膜粘附住的，故利用扩膜设备将UV膜自中心向外扩膜，可以有效将裂片之间的间距调大，现有扩膜设备通常是将晶圆片与UV膜整体粘附在一环形治具上，并防止在中间圆台的加热组件上不，对UV膜进行微热后，压住环形治具并向上顶起UV膜，使得UV膜自中心向外均匀扩展，进而使得裂片之间的间距扩大，而微热过程对UV膜的热塑性有较大影响，对于受热不均匀的情况下会对UV膜，甚至是裂片本身造成无法修复的损伤，因此需要进一步改良设计一种免加热的、减少对UV膜和裂片损伤的扩膜设备，来调整裂片之间间距。
技术实现思路
本技术目的：鉴于
技术介绍
中的技术需求，我们设计一种免加热的凸模顶升式扩膜机，利用凸模顶升机构、收边圈将UV膜自中心向外周均匀扩展，借助按压组件将环形治具紧密压合在工作台面上，待扩膜至调节裂片之间间距足够后，上端加罩上自粘本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种免加热的凸模顶升式扩膜机，包括凸模顶升机构、收边圈、按压组件和载有晶圆裂片的环形治具和自粘保压圈，其特征在于：/n所述凸模顶升机构设置在机架内，包括上端呈光滑曲面的圆柱型凸模、顶升杆、顶升气缸、支撑板以及匀速向上顶伸的稳速气缸，所述稳速气缸的缸体固定在机架底座上，其顶杆与支撑板中部固连，所述支撑板四角通过支撑柱与所述收边圈的底端面固连，支撑板中部固连有顶升气缸的底座，所述顶升气缸的顶杆与所述凸模通过顶升杆固连，顶升气缸控制凸模上下循环往复移动，而所述收边圈与凸模轴孔配合以轴线方向相对滑移，所述收边圈借助稳速气缸的顶伸动作，稳速向上均匀扩撑开经过凸模上端光滑曲面顶升而延展出的UV膜余料，...

【技术特征摘要】
1.一种免加热的凸模顶升式扩膜机，包括凸模顶升机构、收边圈、按压组件和载有晶圆裂片的环形治具和自粘保压圈，其特征在于：
所述凸模顶升机构设置在机架内，包括上端呈光滑曲面的圆柱型凸模、顶升杆、顶升气缸、支撑板以及匀速向上顶伸的稳速气缸，所述稳速气缸的缸体固定在机架底座上，其顶杆与支撑板中部固连，所述支撑板四角通过支撑柱与所述收边圈的底端面固连，支撑板中部固连有顶升气缸的底座，所述顶升气缸的顶杆与所述凸模通过顶升杆固连，顶升气缸控制凸模上下循环往复移动，而所述收边圈与凸模轴孔配合以轴线方向相对滑移，所述收边圈借助稳速气缸的顶伸动作，稳速向上均匀扩撑开经过凸模上端光滑曲面顶升而延展出的UV膜余料，
所述收边圈呈环形，与工作台面中部设有的通孔上下滑动配合，而所述环形治具外圈设有若干个与工作台面设有的定位销配合定位的定位孔，环形治具静置与工作台面上后，由所述按压组件按压住环形治具的外圈，并保压，使得凸模顶升机构配合收边圈能够持续地将UV膜料充分延展扩膜，进一步拉开裂片之间的间距，
所述按压组件包括对称设置在机架两侧的按压气缸、按压杆、导杆导套组...

【专利技术属性】
技术研发人员：金传千，
申请(专利权)人：苏州市联超光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32