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本实用新型公开了一种免加热的凸模顶升式扩膜机，包括凸模顶升机构、收边圈、按压组件和载有晶圆裂片的环形治具和自粘保压圈，凸模顶升机构包括上端呈光滑曲面的圆柱型凸模、顶升杆、顶升气缸、支撑板以及稳速气缸，顶升气缸控制凸模上下循环往复移动，收边圈...
该专利属于苏州市联超光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州市联超光电科技有限公司授权不得商用。

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