【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】利用激光束来加热对象物质的加热装置及利用激光的间接加热方法
本专利技术涉及利用激光束来加热对象物质的加热装置及利用激光的间接加热方法。
技术介绍
现有技术中可通过向对象物质照射激光来加热处理对象物质。现有技术文献：韩国专利公开公报第10-2017-0000385号中图1为示出利用现有激光束加热对象物质的加热装置的图，图2为示出通过现有加热装置形成的激光束的图。参照图1及图2，现有加热装置可包括激光模块100、物镜110(optic)、反射镜120以及用于放置对象物质140的载物台130。从激光模块100输出的激光通过物镜110之后形成杆形状的激光束200。在这种情况下，在杆形状的激光束200中，将长的方向称为激光束长度(BeamLength)，将短的方向称为激光束宽度(BeamWidth)。另一方面，在对象物质140长时间暴露在激光的情况下，对象物质140在特定相中的粒径将变大，电阻将会减少，从而泄露电流将会增加。由于这种特性，具有难以用于需要大电阻的产业用途的问题。与此相关地...
【技术保护点】
1.一种加热装置，利用激光束来加热对象物质，其特征在于，/n包括：/n载物台，用于放置上述对象物质；/n激光模块，产生激光束来输出；/n光学模块，用于控制上述激光束的路径；/n多面镜，具有以旋转轴为中心进行旋转并反射上述激光束的多个反射面；以及/n激光束引导模块，用于控制通过上述多面镜反射的激光束向上述对象物质入射的入射范围。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种加热装置，利用激光束来加热对象物质，其特征在于，
包括：
载物台，用于放置上述对象物质；
激光模块，产生激光束来输出；
光学模块，用于控制上述激光束的路径；
多面镜，具有以旋转轴为中心进行旋转并反射上述激光束的多个反射面；以及
激光束引导模块，用于控制通过上述多面镜反射的激光束向上述对象物质入射的入射范围。
2.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，上述光学模块包括：
第一镜，用于反射从上述激光模块产生的激光束；
聚光透镜，用于对通过上述第一镜反射的激光束进行聚光；
激光束整形机，用于将所聚光的上述激光束的形态变为预设状态；以及
第二镜，反射所改变的上述激光束，以使所改变的上述激光束朝向上述多面镜。
3.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，还包括投影系统，上述投影系统校正通过上述多面镜反射的激光束的能量密度。
4.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，上述激光束引导模块包括多个激光束截止器，上述多个激光束截止器隔开规定距离来确定上述入射范围，阻隔通过上述多个反射面中相邻的两个反射面相接触的界面散射的激光束。
5.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，
上述对象物质包含：
第一物质，包含金属；以及
第二物质，包含与上述第一物质相邻配置的无机物，
通过向上述第一物质照射上述激光束来直接加热上述第一物质，由此，与上述第一物质相邻的上述第二物质被间接加热。
6.根据权利要求5所述的加热装置，其特征在于，上述对象物质还包含配置于上述第一物质及上述第二物质之间的一个以上的第三物质。
7.根据权利要求...
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