【技术实现步骤摘要】
一种带有自清洁功能的蓝宝石单晶炉观察窗
本技术涉及单晶炉
,具体为一种带有自清洁功能的蓝宝石单晶炉观察窗。
技术介绍
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。而在一些单晶炉在工作时,铝中的杂质在结晶过程中挥发出来并在热辐射照射下附着在观察窗镜片内表面,无法很好的清理,导致外部的工作人员无法清晰的看清楚炉内的反应,十分影响观察。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种带有自清洁功能的蓝宝石单晶炉观察窗,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种带有自清洁功能的蓝宝石单晶炉观察窗,包括基座,所述基座的上表面通过螺栓连接有反应炉,所述反应炉的表面转动连接有炉门,所述炉门的表面焊接有拉手,所述炉门的内部卡接有密封条,所述反应炉的表面卡接有玻璃窗,所述玻璃窗的内壁设置有清理机构,所述反应炉的表面开设有T型槽,所述T型槽的内壁上滑动连接有滑动柄,所述滑动柄的表面设置有外吸机构。r>优选的,所述反应本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种带有自清洁功能的蓝宝石单晶炉观察窗,包括基座(1),其特征在于:所述基座(1)的上表面通过螺栓连接有反应炉(2),所述反应炉(2)的表面转动连接有炉门(3),所述炉门(3)的表面焊接有拉手(8),所述炉门(3)的内部卡接有密封条(4),所述反应炉(2)的表面卡接有玻璃窗(10),所述玻璃窗(10)的内壁设置有清理机构(6),所述反应炉(2)的表面开设有T型槽(9),所述T型槽(9)的内壁上滑动连接有滑动柄(5),所述滑动柄(5)的表面设置有外吸机构(7)。/n
【技术特征摘要】
1.一种带有自清洁功能的蓝宝石单晶炉观察窗,包括基座(1),其特征在于:所述基座(1)的上表面通过螺栓连接有反应炉(2),所述反应炉(2)的表面转动连接有炉门(3),所述炉门(3)的表面焊接有拉手(8),所述炉门(3)的内部卡接有密封条(4),所述反应炉(2)的表面卡接有玻璃窗(10),所述玻璃窗(10)的内壁设置有清理机构(6),所述反应炉(2)的表面开设有T型槽(9),所述T型槽(9)的内壁上滑动连接有滑动柄(5),所述滑动柄(5)的表面设置有外吸机构(7)。
2.根据权利要求1所述的一种带有自清洁功能的蓝宝石单晶炉观察窗,其特征在于:所述反应炉(2)的内壁上焊接有定位板(12),所述定位板(12)的左端焊接有弧形弹簧(13),所述定位板(12)的内部焊接有圆形环(11),所述弧形弹簧(13)的内壁套接在圆形环(11)的表面,所述玻璃窗(10)的内部开设有定位槽(14)。
3.根据权利要求2所述的一种带有自清洁功能的蓝宝石单晶炉观察窗,其特征在于:所述清理机构(6)包括有清理板(61),所述清理板(61)的表面焊接有若干个清理刷(64),所述清理板...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈宏,郝贵荣,张国威,李国东,杜晶,要晋颖,李庆,
申请(专利权)人:山西中聚晶科半导体有限公司,
类型:新型
国别省市:山西;14
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