具有吹嘴的汲取装置及具有该汲取装置的处理机台制造方法及图纸

技术编号:2623618 阅读:186 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术适用于机台技术领域,提供了一种具有吹嘴的汲取装置及具有该汲取装置的处理机台,所述处理机台包括承载装置和处理装置,其中所述片状待测物被叠置于所述承载装置,供所述汲取装置每次单独汲取一片目标待测物至所述处理装置,所述汲取装置包括汲取器和驱动器;其特征在于,所述的汲取装置还包括供所述汲取器从所述承载装置汲取所述待测物时,向待测物吹风、剥离附着于所述目标待测物下方的另一片待测物的吹嘴。本实用新型专利技术提供的技术方案能够确保每次汲取动作汲取预定单一待测物,大幅提升处理机台的效率与质量,增进使用厂商的竞争力。(*该技术在2018年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术是涉及一种处理机台,尤其是一种具有吹嘴的汲取装置及具有 该装置的处理机台。
技术介绍
太阳能具有取的不竭、绿色环保、实用性高等特性,如今原油价格不断升 高,替代性能源需求显著提升,无污染的太阳能更成为能源界明日的星。应用 于太阳能光电转换过程中的太阳能晶圆,则担负吸收、撷取太阳光、并转换为 电能的重责大任。当然,太阳能晶圓于出厂前,必需进行相关测试与分类、包装,但如图l所示,由于此种片状待测物如太阳能晶圆40极为轻薄脆弱,故其 检测过程需小心处理,此处所示晶圓40具有两待测面,需分别检测。如图2所示,现有技术中,为避免磨损该晶圓40,其中的汲取装置13是 利用一组汲取器(图中标识为吸嘴131),吸取置于一组承载装置14中的最上 方晶圓40的上表面,并移动至检测位置以检测下表面后,随后将该太阳能晶圆 40下表面放置于一组处理装置15上,再检测该晶圆40的上表面。该等晶圆40重量极轻,叠置时,相互接触面积极大,因为晶圓间的空气被 排开,且该等晶圆40的表面相当平滑,如图3所示, 一旦由上方吸取最上层晶 圆,往往因大气压力,使下方非预定晶圆40,随之一起被取出, 一并脱离原本 的迭本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有吹嘴的汲取装置,所述的汲取装置设置于一种片状待测物处理机台,所述处理机台包括承载装置和处理装置,其中所述片状待测物被叠置于所述承载装置,供所述汲取装置每次单独汲取一片目标待测物至所述处理装置,所述汲取装置包括汲取器和驱动器;其特征在于,所述的汲取装置还包括供所述汲取器从所述承载装置汲取所述待测物时,向待测物吹风、剥离附着于所述目标待测物下方的另一片待测物的吹嘴。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:林汉声
申请(专利权)人:中茂电子深圳有限公司
类型:实用新型
国别省市:94[中国|深圳]

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