带层叠膜的透明基板制造技术

本发明专利技术提供即便具有含有氮化钛等特定的金属氮化物的功能层隔热性也足够高的带层叠膜的透明基板。一种带层叠膜的透明基板(10)，其具有透明基板(12)和设置于透明基板(12)的至少一个表面的层叠膜(14)，层叠膜(14)从透明基板(12)侧起依次具有第1电介质层(22)、结晶度提高层(24)、功能层(26)和第2电介质层(28)，结晶度提高层(24)含有ZrN

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】带层叠膜的透明基板
本专利技术涉及带层叠膜的透明基板。
技术介绍
对炎热地域、例如东南亚地区等从低纬度到中纬度的地域的建筑用窗玻璃要求高隔热性。为了使窗玻璃具有高隔热性能，需要降低热辐射率。作为热辐射率低的窗玻璃，提出一种具有透明基板和层叠膜的带层叠膜的透明基板(隔热玻璃)，上述层叠膜是在透明基板上层叠透明导电层和膜厚大于10nm的含氮吸光层而成的(专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：国际公开第2016/060082号
技术实现思路
但是，在掺杂了锡的氧化铟(ITO)等透明导电层的表面形成的由氮化钛构成的含氮吸光层的电阻值较高，因此专利文献1的带层叠膜的透明基板具有隔热性不够高的课题。含氮吸光层使用与氮化钛同样具有NaCl型的晶体结构且晶体结构的晶格常数为以下的氮化铬、氮化铌、氮化钼或氮化铪的带层叠膜的透明基板也具有同样的课题。本专利技术提供一种带层叠膜的透明基板，其即便具有含有选自氮化钛、氮化铬、氮化铌、氮化钼和氮化铪中的1种以上的金属氮化物的功能层，隔热性也足够高。...

【技术保护点】
1.一种带层叠膜的透明基板，其特征在于，具有透明基板、和设置于所述透明基板的至少一个表面的层叠膜，/n所述层叠膜从透明基材侧起依次具有第1电介质层、结晶度提高层、功能层和第2电介质层，/n所述结晶度提高层含有ZrN

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171228 JP 2017-2542951.一种带层叠膜的透明基板，其特征在于，具有透明基板、和设置于所述透明基板的至少一个表面的层叠膜，
所述层叠膜从透明基材侧起依次具有第1电介质层、结晶度提高层、功能层和第2电介质层，
所述结晶度提高层含有ZrNx，其中，x大于1.2且为2.0以下，
所述功能层含有选自氮化钛、氮化铬、氮化铌、氮化钼和氮化铪中的1种以上的金属氮化物，
所述结晶度提高层与所述功能层的边界处的氧原子浓度为20原子％以下。


2.根据权利要求1所述的带层叠膜的透明基板，其中，所述功能层所含的所述金属氮化物的X射线衍射图谱中的(111)面的峰的积分强度与(200)面的峰的积分强度的比大于2.5。


3.根据权利要求1或2所述的带层叠膜的透明基板，其中，所述功能层在波长1500nm处的消光系数大于2.8。


4.根据权利要求1～3中任一项所述的带层叠膜的透明基板，其中，所述第1电介质层的厚度为1.5～200nm，所述结晶度提高层的厚度为3～30nm，所述功能层的厚度为3～60nm，且所述第2电介质层的厚度为1.5～200nm。


5.根据权利要求1～4中任一项所述的带层叠膜的透明基板，其中，所述透明基板为玻璃板。


6.根据权利要求1～5中任一项所述的带层叠膜的透明基板，其中，在所述透明基板的一个表面具有2个以上的所述层叠膜。


7.根据权利要求1～6中任一项...

【专利技术属性】
技术研发人员：松本章代，一色真诚，秋田正文，
申请(专利权)人：AGC株式会社，欧洲AGC玻璃公司，北美AGC平板玻璃公司，巴西爱科维德罗斯有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP