【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种带扫描探针显微镜，特别是原子力显微镜的测量系统的操作方法，以及测量系统。
技术介绍
扫描探针显微镜方法(SPM)是这样一种技术，其中，测量探针扫描待检查的测量样本，并且在这个过程中例如记录测量样本的外形。在这种情况下，在测量探针与测量样本 之间发生相对运动，这个相对运动通过这样的方式获得至少是测量探针移动或者至少是测量样本移动。通常这种相对运动作为横向运动被执行。此外，在垂直方向上也可以发生相对运动。扫描探针显微镜方法的一种形式是扫描力显微镜方法(SFM)。通过在这种情况下使用的原子力显微镜，在悬臂设计中形成测量探针，悬臂上载有精细的测量尖端。为了能够更好地将扫描探针显微镜方法中得到的测量结果指定给测量样本的结构，将扫描探针显微镜方法与经典的光学显微镜方法结合起来是极有利的，就测量样本的结构这部分而言，是从光学显微镜方法的光学图像中提取的。在这种情况下，根据现有技术，光学图像通过借助光学显微镜方法被记录，并优先地存储为数字形式。以类似的方式，在同一测量样本的扫描探针显微镜方法的框架中产生并存储SPM图像。通过图像处理程序，这两种测量中产生的图像...
【技术保护点】
一种操作具有扫描探针显微镜特别是原子力显微镜的测量系统的方法，其中： －通过光学记录装置的支持，在显示设备上显示待检查的测量样本的测量横截面的记录光学图像， －检测所述光学图像中位置的选择，以及 －对于扫描探针测量，通过根据坐标变换控制移动设备，通过所述移动设备将为所述扫描探针测量而设置的测量探针移动到测量位置，所述移动设备将所述测量探针与所述测量样本相对于彼此移动，根据所述坐标变换将所述测量位置指定为所述光学图像中所选择的位置， 其中，通过所述坐标变换，形成所述光学图像的坐标系与被所述测量探针和所述测量样本的移动所覆盖的空间的坐标系之间先前确定的指定，其中所述移动位置包括所述测量位置。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：托尔斯滕扬克，米夏埃尔哈格蒂，
申请(专利权)人：JPK器具股份有限公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]
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