承载装置及检测设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种承载装置及检测设备，所述承载装置包括第一基板和第二基板，所述第一基板和第二基板以层叠形式设置并被配置为相对移动；所述第一基板设有至少三个不共线的调节柱，所述第一基板具有第一限位机构，所述第一限位机构用于使调节柱沿第一轨迹移动，所述第二基板具有第二限位机构，所述第二限位机构用于使所述调节柱沿第二轨迹移动；所述第一轨迹和第二轨迹相交于一点，当所述第一基板和第二基板相对移动至多个连续的位置时，至少三个调节柱的中心共圆周，且所述圆周的第一圆心相同而半径不同。该承载装置便于放置待承载物并使得放置在其上的待承载物的中心与承载装置的中心重叠，而且对准过程简单、快速。

【技术实现步骤摘要】
承载装置及检测设备
本技术涉及半导体检测设备
，尤其是在晶圆生产、检测过程中用于承载晶圆的承载装置。本技术还涉及用于承载晶圆的方法，以及晶圆检测设备。
技术介绍
晶圆作为芯片的基底，若晶圆上存在缺陷，缺陷将导致制备而成的芯片失效，从而导致芯片的良品率降低，制造成本增高，为解决上述问题，通常在芯片制备前或制备过程中对晶圆表面的缺陷进行检测。目前，晶圆表面缺陷检测常用的技术是光学检测技术，其具有检测速度快、无污染等优点，在检测过程中，先将晶圆置于检测台上，再使检测装置对位于检测台上的晶圆进行检测，由于检测装置与检测台之间的位置相对固定，若晶圆在检测台上偏离中心位置较远，将导致待测晶圆部分区域的检测信号较弱或部分区域未能成功检测到。故在对晶圆进行检测时，需要将晶圆放置在检测台中心位置，便于检测装置对其进行检测。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种承载装置。该承载装置便于放置待承载物并使得放置在其上的待承载物的中心与承载装置的中心重叠，而且对准过程简单、快速。本技术的另一目的是提供一种采用所述承载装置对待承载物进行承载的方法。本技术的另一目的是提供一种设有所述承载装置的检测设备。为实现上述目的，本技术提供一种承载装置，包括第一基板和第二基板，所述第一基板和第二基板以层叠形式设置，所述第二基板和第一基板被配置为相对移动；所述第一基板设有至少三个不共线的调节柱，所述第一基板具有第一限位机构，所述第一限位机构用于使调节柱沿第一轨迹移动，所述第二基板具有第二限位机构，所述第二限位机构用于使所述调节柱沿第二轨迹移动；所述第一轨迹和第二轨迹的投影相交于一点，当所述第一基板和第二基板相对移动至多个连续的位置时，至少三个调节柱的中心共圆周，所述圆周具有第一圆心，所述多个连续位置处的所述圆周的第一圆心相同且半径不同，所述调节柱位于所述第二基板以上区域的上端形成用于带动待承载物移动的作用部位。优选地，所述第二基板和第一基板被配置为沿平行于所述圆周所在平面的平移线平移。优选地，所述至少三个调节柱包括第一调节柱、第二调节柱和第三调节柱；所述第一调节柱和第二调节柱的第一轨迹关于所述平移线对称；所述第三调节柱的第一轨迹与所述第一调节柱的第一轨迹相同，或者所述第三条调节柱的第一轨迹与第二调节柱的第一轨迹相同；所述第一调节柱和第二调节柱的第二轨迹关于所述平移线对称；所述第三调节柱的第二轨迹与所述第一调节柱的第二轨迹相同，或者所述第三条调节柱的第二轨迹与第二调节柱的第二轨迹相同，所述第二基板与第一基板的相对移动方向与所述第一轨迹和第二轨迹所形成的夹角相等。优选地，所述第一限位机构为第一卡槽或第一滑动机构；所述第二限位机构为第二卡槽或第二滑动机构；所述调节柱的一端由所述第一卡槽或第一滑动机构限位，所述调节柱位于两端之间的部分由所述第二卡槽或第二滑动机构限位。优选地，所述调节柱呈“T”形，其上端的直径大于下端的直径，且上端的外周面形成与待承载物相接触的部位。优选地，所述第一滑动机构包括设于所述第一基板顶部的滑动槽和滑块；所述调节柱的下端连接于所述滑块，所述滑块设置在所述滑动槽内，且所述滑块能够在滑动槽内滑动，以使得所述调节柱能够沿所述滑动槽滑动。优选地，还包括驱动机构和传动机构；所驱动机构设于所述第一基板，并通过所述传动机构与所述第二基板相连接，以驱动所述第二基板相对于所述第一基板移动。优选地，所述第一基板设有多个定位柱，所述第二基板设有与所述定位柱对应的定位槽，所述定位柱和定位槽通过相互配合限制所述第二基板相对于第一基板的位置变化。优选地，所述定位柱呈圆轮形，所述定位柱的外周面设有环形凹槽，所述定位槽呈开口朝向外侧的缺口槽，所述缺口槽呈弧形或直线型，所述缺口槽的侧壁上设有与所述定位柱的环形凹槽相配合的弧形凸起。优选地，还包括设于所述第一基板的承载柱，多个所述承载柱围绕所述第一基板的圆心分布，各所述承载柱的顶部具有用于放置待承载物的承载面；所述承载面高于所述第二基板的上表面，所述第二基板设有与各所述承载柱相对应的缺口或槽位，所述承载柱与所述缺口或槽位之间在所述第二基板的正、反转动方向上具有间隙余量。优选地，所述承载柱的数量大于或等于三个。优选地，所述第一基板和第二基板的中心设有空心圆，所述空心圆的位置处设置有用于吸附待承载物的吸附装置。优选地，还包括弹性部件，所述弹性部件的两端分别连接于所述第一基板和第二基板。优选地，所述调节柱包括第一组调节柱和/或第二组调节柱，所述第二组调节柱及与其对应设置的限位机构距离所述第一圆心的距离大于所述第一组调节柱及与其对应设置的限位机构距离所述第一圆心的距离，以分别用于放置不同尺寸大小的待承载物。优选地，所述第一组调节柱的顶部距所述第二基板上表面的高度小于所述第二组调节柱顶部距所述第二基板上表面的高度。为实现上述另一目的，本技术提供一种承载方法，采用上述任一项所述的承载装置，包括：驱动所述第二基板相对于所述第一基板沿第一方向移动，使所述至少三个调节柱形成的圆周的半径变大；将待承载物放置于所述承载装置的第一基板上方的承载区域；驱动所述第二基板相对于所述第一基板沿第二方向移动，所述第二方向与第一方向的运动方向相反，使所述圆周的半径变小；进而带动放置在承载区域的待承载物的中心与所述承载装置的第一基板的圆心轴向重合。为实现上述又一目的，本技术提供一种检测设备，包括：如上述任一项所述的承载装置，所述承载装置用于调节待检测的待承载物的中心位置；检测系统，用于对所述承载装置调节过的待承载物进行检测；机械手，用于在检测前将待承载物放置于所述承载装置的承载区域，并在检测后从所述承载装置的承载区域取走待承载物。本技术所提供的承载装置设有第一基板和能够相对于第一基板移动的第二基板，并在第一基板上设有可活动的调节柱，第一基板具有第一限位机构，可以使调节柱沿第一轨迹移动，第二基板具有第二限位机构，可以使调节柱沿第二轨迹移动。当第一基板和第二基板相对移动至多个连续的位置时，至少三个调节柱的中心共圆周，此圆周具有第一圆心，由于多个连续位置处的圆周的第一圆心相同且半径不同，因此，调节柱在移动过程中可以通过作用部位带动待承载物移动至中心与第一基板的圆心轴向重合的位置，实现中心对准，其不仅便于放置待承载物，而且对准过程简单、稳定、快捷。本技术还提供一种承载方法和检测设备，由于所述承载装置具有上述技术效果，则采用该承载装置的承载方法和设有该承载装置的检测设备也应具有相应的技术效果。附图说明图1为本技术实施例公开的一种承载装置的俯视图；图2为图1所示承载装置的第二基板脱离第一基板之后的轴测图；图3为本技术实施例公开的另一种承载装置的俯视图；图4为图3所示承载装置的第二基板相对于第一基板向左平移一定距离后的示意图；图5为图3所示承载装置的第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.承载装置，其特征在于，包括第一基板和第二基板，所述第一基板和第二基板以层叠形式设置，所述第二基板和第一基板被配置为相对移动；所述第一基板设有至少三个不共线的调节柱，所述第一基板具有第一限位机构，所述第一限位机构用于使调节柱沿第一轨迹移动，所述第二基板具有第二限位机构，所述第二限位机构用于使所述调节柱沿第二轨迹移动；所述第一轨迹和第二轨迹的投影相交于一点，当所述第一基板和第二基板相对移动至多个连续的位置时，至少三个调节柱的中心共圆周，所述圆周具有第一圆心，所述多个连续位置处的所述圆周的第一圆心相同且半径不同，所述调节柱位于所述第二基板以上区域形成用于带动待承载物移动的作用部位。/n

【技术特征摘要】
20200303 CN 2020101392373;20200303 CN 2020202438281.承载装置，其特征在于，包括第一基板和第二基板，所述第一基板和第二基板以层叠形式设置，所述第二基板和第一基板被配置为相对移动；所述第一基板设有至少三个不共线的调节柱，所述第一基板具有第一限位机构，所述第一限位机构用于使调节柱沿第一轨迹移动，所述第二基板具有第二限位机构，所述第二限位机构用于使所述调节柱沿第二轨迹移动；所述第一轨迹和第二轨迹的投影相交于一点，当所述第一基板和第二基板相对移动至多个连续的位置时，至少三个调节柱的中心共圆周，所述圆周具有第一圆心，所述多个连续位置处的所述圆周的第一圆心相同且半径不同，所述调节柱位于所述第二基板以上区域形成用于带动待承载物移动的作用部位。


2.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述第二基板和第一基板被配置为沿平行于所述圆周所在平面的平移线平移。


3.根据权利要求2所述的承载装置，其特征在于，所述至少三个调节柱包括第一调节柱、第二调节柱和第三调节柱；所述第一调节柱和第二调节柱的第一轨迹关于所述平移线对称；所述第三调节柱的第一轨迹与所述第一调节柱的第一轨迹相同，或者所述第三调节柱的第一轨迹与第二调节柱的第一轨迹相同；所述第一调节柱和第二调节柱的第二轨迹关于所述平移线对称；所述第三调节柱的第二轨迹与所述第一调节柱的第二轨迹相同，或者所述第三调节柱的第二轨迹与第二调节柱的第二轨迹相同，所述第二基板与第一基板的相对移动方向与所述第一轨迹和第二轨迹所形成的夹角相等。


4.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述第一限位机构为第一卡槽或第一滑动机构；所述第二限位机构为第二卡槽或第二滑动机构；所述调节柱的一端由所述第一卡槽或第一滑动机构限位，所述调节柱位于两端之间的部分由所述第二卡槽或第二滑动机构限位。


5.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述调节柱呈“T”形，其上端的直径大于下端的直径，且上端的外周面形成与待承载物相接触的部位。


6.根据权利要求4所述的承载装置，其特征在于，所述第一滑动机构包括设于所述第一基板顶部的滑动槽和滑块；所述调节柱的下端连接于所述滑块，所述滑块设置在所述滑动槽内，且所述滑块能够在滑动槽内滑动，以使得所述调节柱能够沿所述滑动槽滑动。


7.根据权利要求1所述的承载装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：张龙，黄有为，陈鲁，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44