下载承载装置及检测设备的技术资料

文档序号:26207556

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本实用新型公开了一种承载装置及检测设备,所述承载装置包括第一基板和第二基板,所述第一基板和第二基板以层叠形式设置并被配置为相对移动;所述第一基板设有至少三个不共线的调节柱,所述第一基板具有第一限位机构,所述第一限位机构用于使调节柱沿第一轨迹...
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