单晶炉侧部加热器连接器制造技术

一种单晶炉侧部加热器连接器，涉及单晶炉部件技术领域，将侧部加热器与石墨电极连接，侧部加热器位于石墨电极上部，单晶炉侧部加热器连接器包括固定连接的侧部加热器连接部及石墨电极连接部，两者互相垂直形成L型，侧部加热器连接部与侧部加热器连接，石墨电极连接部与石墨电极连接；石墨电极连接部的底部开设有凹槽，凹槽与石墨电极的一端相适配，以使石墨电极的一端嵌入凹槽内固定。石墨电极连接部与石墨电极连接，通过石墨电极嵌入凹槽的方式将石墨电极连接部与石墨电极连接，不需要通过螺栓将石墨电极与侧部加热器连接器螺纹连接，防止螺纹旋拧的力度偏差导致石墨电极偏离铅垂面，进而防止石墨电极打火漏电，减少安全隐患。

【技术实现步骤摘要】
单晶炉侧部加热器连接器
本技术涉及单晶炉部件
，具体涉及一种单晶炉侧部加热器连接器。
技术介绍
侧部加热器和石墨电极是单晶炉必要的部件，两者之间需要通过连接器连接，现有的石墨电极的一端是设置有螺纹杆的，连接器与石墨电极是螺纹连接的，即石墨电极的螺纹杆插入连接器的预留孔内，通过螺母将石墨电极固定在连接器上，这种方式会因为旋转螺母的力度偏差导致石墨电极偏离铅垂面，进而导致石墨电极打火漏电，容易造成安全事故。
技术实现思路
有鉴于此，有必要提供一种不需要通过螺母连接石墨电极的单晶炉侧部加热器连接器。一种单晶炉侧部加热器连接器，将侧部加热器与石墨电极连接，侧部加热器位于石墨电极上部，单晶炉侧部加热器连接器包括固定连接的侧部加热器连接部及石墨电极连接部，两者互相垂直形成L型，侧部加热器连接部与侧部加热器连接，石墨电极连接部与石墨电极连接；石墨电极连接部的底部开设有凹槽，凹槽与石墨电极的一端相适配，以使石墨电极的一端嵌入凹槽内固定。优选的，侧部加热器的底部设置有连接脚，连接脚与侧部加热器连接部接触；侧部加热器连接部本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶炉侧部加热器连接器，将侧部加热器与石墨电极连接，侧部加热器位于石墨电极上部，其特征在于：包括固定连接的侧部加热器连接部及石墨电极连接部，两者互相垂直形成L型，侧部加热器连接部与侧部加热器连接，石墨电极连接部与石墨电极连接；石墨电极连接部的底部开设有凹槽，凹槽与石墨电极的一端相适配，以使石墨电极的一端嵌入凹槽内固定。/n

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉侧部加热器连接器，将侧部加热器与石墨电极连接，侧部加热器位于石墨电极上部，其特征在于：包括固定连接的侧部加热器连接部及石墨电极连接部，两者互相垂直形成L型，侧部加热器连接部与侧部加热器连接，石墨电极连接部与石墨电极连接；石墨电极连接部的底部开设有凹槽，凹槽与石墨电极的一端相适配，以使石墨电极的一端嵌入凹槽内固定。


2.如权利要求1所述的单晶炉侧部加热器连接器，其特征在于：所述侧部加热器的底部设置有连接脚，连接脚与侧部加热器连接部接触；侧部加热器连接部为阶梯型，包括上阶和下阶两阶，连接脚的一侧与侧部加热器连接部的上阶的一侧接触，连接脚的底面与侧部加热器连接部的下阶的顶面接触，以使侧部加热器与侧部加热器连接部搭接，进而使侧部加热器连接部的上阶的一侧和侧部加热器连接部的下阶的顶面共同配合将侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：马成，马吟霜，
申请(专利权)人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：宁夏;64