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一种单晶炉侧部加热器连接器，涉及单晶炉部件技术领域，将侧部加热器与石墨电极连接，侧部加热器位于石墨电极上部，单晶炉侧部加热器连接器包括固定连接的侧部加热器连接部及石墨电极连接部，两者互相垂直形成L型，侧部加热器连接部与侧部加热器连接，石墨电...
该专利属于宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司授权不得商用。

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