具有温度补偿的管式PECVD装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种具有温度补偿的管式PECVD装置，包括工作台室、主机室及气源柜，工作台室内部设有一套机械驱动机构，机械驱动机构上安装至少一个推拉舟，推拉舟上放置有两个以上对接的石墨舟，主机室内至少具有一个工艺腔室，工艺腔室的内壁为石英管，石英管的外周沿轴向套设石英套管，石英套管外部为加热炉体，石墨舟进入工艺腔室后，加热炉体对应石墨舟对接的部位设置有加热电阻丝和对接部温度控制系统。本实用新型专利技术使工艺腔室内的温度趋于相同，解决硅片沉积薄膜质量受温度变化影响等问题。

【技术实现步骤摘要】
具有温度补偿的管式PECVD装置
本技术涉及光伏电池制造设备领域，尤其是一种具有温度补偿的管式PECVD装置。
技术介绍
太阳能光伏电池是一种把太阳的光能直接转化为电能的新型电池。目前通常使用的是以硅为基底的硅光伏电池，包括单晶硅、多晶硅和非晶硅光伏电池。PERC电池（PassivatedEmitterandRearCell，发射极和背面钝化技术）是一种新型的光伏电池技术，PERC电池背表面的有效钝化是提升太阳能电池转换效率的重要因素。目前较为成熟的钝化膜材料包括氧化铝(Al2O3)、氧化硅(SiO2)、氮氧化硅（SiOxNy）、氮化硅(Si3N4)等，为了提升钝化效果，多层钝化膜结构是一个重要的发展方向。管式PECVD装置（PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，等离子体增强化学气相沉积）用于氮化硅、氧化硅等的等离子体增强化学气相沉积，PECVD技术是在低气压条件下，在工艺腔室内使硅片样品升温到预定温度，然后通入适量的工艺气体，这些气体经一系列化学反应和等离子体反应，最终在硅片样品表面形成沉积薄膜。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有温度补偿的管式PECVD装置，其特征在于：包括工作台室、主机室及气源柜，工作台室内部设有一套机械驱动机构，机械驱动机构上安装至少一个推拉舟（3），推拉舟（3）上放置有两个以上对接的石墨舟（4），主机室内至少具有一个工艺腔室，工艺腔室的内壁为石英管，石英管的外周沿轴向套设石英套管，石英套管外部为加热炉体（2），石墨舟（4）进入工艺腔室后，加热炉体（2）对应石墨舟（4）对接的部位设置有加热电阻丝和对接部温度控制系统。/n

【技术特征摘要】
1.一种具有温度补偿的管式PECVD装置，其特征在于：包括工作台室、主机室及气源柜，工作台室内部设有一套机械驱动机构，机械驱动机构上安装至少一个推拉舟（3），推拉舟（3）上放置有两个以上对接的石墨舟（4），主机室内至少具有一个工艺腔室，工艺腔室的内壁为石英管，石英管的外周沿轴向套设石英套管，石英套管外部为加热炉体（2），石墨舟（4）进入工艺腔室后，加热炉体（2）对应石墨舟（4）对接的部位设置有加热电阻丝和对接部温度控制系统。


2.根据权利要求1所述的具有温度补偿的管式PECVD装置，其特征在于：对接部温度控制系统与加热电阻丝对应连接，对加热电阻丝进行单独温度控制。


3.根据权利要求1所述的具有温度补偿的管式PECVD装置，其特征在于：当推拉舟（3）上的石墨舟（4）为两个时，工艺腔室的长度方向对应两个石墨舟（4）的位置分别为前段、对接部和后段三个温区，加热炉体（2）对应的部位设有前段温度控制系统、对接部温度控制系统以及后段温度控制系统。


4.根据权利要求3所述的具有温度补偿的管式PECVD装置，其特征在于：加热炉体（2）上安装有对应的多个加热电阻丝和多个外热电偶，所述多个加热电阻丝和多个外热电偶通过对应的温度控制系统分为三组连接。


5.根据权利要求4所述的具有温度补偿的管式PECVD装置，其特征在于：对接部温度控制系统与对接部的加热电阻丝对应连接，对接部温度控制系统的外热电偶与对应的温控表的输入端连接，所述加热电阻丝与对应的可控硅的输出端连接，温控表的输出端通过触发电路与可控硅的输入端连接，...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈庆敏，吴晓松，李丙科，蔡宗捷，刘永法，
申请(专利权)人：无锡松煜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32