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本实用新型公开了一种具有温度补偿的管式PECVD装置，包括工作台室、主机室及气源柜，工作台室内部设有一套机械驱动机构，机械驱动机构上安装至少一个推拉舟，推拉舟上放置有两个以上对接的石墨舟，主机室内至少具有一个工艺腔室，工艺腔室的内壁为石英管...
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