一种用于纳米压印设备的自动定位工作台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于纳米压印设备的自动定位工作台，包括支撑板，支撑板的上表面装配有托盘，托盘的上表面开设有贯穿孔，贯穿孔内均贯穿支撑板装配有升降支撑顶针，升降支撑顶针的上表面放置有纳米压印基底，托盘的上表面开设有真空吸附槽，且托盘的上表面对称开设有感应器存放槽，感应器存放槽内装配有感应器，支撑板的上表面均匀装配有可以移动的定位夹持装置，运行时，首先升降支撑顶针升起，将纳米压印基底放置于升降支撑顶针上，传感器感应到纳米压印基底存在后，中央控制系统发出命令，利用定位夹持装置进行夹持，升降支撑顶针下降，伸缩杆退回至初始位置，纳米压印基底落于托盘的上表面，借助真空吸附槽将其固定，继续进行下一步的压印流程。

【技术实现步骤摘要】
一种用于纳米压印设备的自动定位工作台
本技术涉及定位工作台
，具体为一种用于纳米压印设备的自动定位工作台。
技术介绍
纳米压印技术是一种新型的微纳加工技术，通过纳米压印胶，将模板上的微纳结构转移到待加工基片上，为提高基片利用率、降低生产成本，基底需尽可能多的压印微纳结构，并保证压印结构完整，因此需要对基片进行精确对位，以往的工作台基底定位需要人工手动进行扶持锁定，费时费力，且右一定的危险性，很不方便。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于纳米压印设备的自动定位工作台，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于纳米压印设备的自动定位工作台，包括支撑板，所述支撑板的上表面装配有托盘，所述托盘的上表面开设有贯穿孔，所述贯穿孔内均贯穿支撑板装配有升降支撑顶针，所述升降支撑顶针的上表面放置有纳米压印基底，所述托盘的上表面开设有真空吸附槽，且托盘的上表面对称开设有感应器存放槽，所述感应器存放槽内装配有感应器，所述支撑板的上表面均匀装配有可以移动的定位夹持装置。r>优选的，所述贯穿本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于纳米压印设备的自动定位工作台，包括支撑板(1)，其特征在于：所述支撑板(1)的上表面装配有托盘(2)，所述托盘(2)的上表面开设有贯穿孔(21)，所述贯穿孔(21)内均贯穿支撑板(1)装配有升降支撑顶针(3)，所述升降支撑顶针(3)的上表面放置有纳米压印基底(4)，所述托盘(2)的上表面开设有真空吸附槽(22)，且托盘(2)的上表面对称开设有感应器存放槽(23)，所述感应器存放槽(23)内装配有感应器(24)，所述支撑板(1)的上表面均匀装配有可以移动的定位夹持装置(5)。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于纳米压印设备的自动定位工作台，包括支撑板(1)，其特征在于：所述支撑板(1)的上表面装配有托盘(2)，所述托盘(2)的上表面开设有贯穿孔(21)，所述贯穿孔(21)内均贯穿支撑板(1)装配有升降支撑顶针(3)，所述升降支撑顶针(3)的上表面放置有纳米压印基底(4)，所述托盘(2)的上表面开设有真空吸附槽(22)，且托盘(2)的上表面对称开设有感应器存放槽(23)，所述感应器存放槽(23)内装配有感应器(24)，所述支撑板(1)的上表面均匀装配有可以移动的定位夹持装置(5)。


2.根据权利要求1所述的一种用于纳米压印设备的自动定位工作台，其特征在于：所述贯穿孔(21)的直径至少大于升降支撑顶针(3)的1.5倍。


3.根据权利要求1所述的一种用于纳米压印设备的自动定位工作台，其特征在于：所述贯穿孔(21)的开设数量为3个，且呈三角形位置均匀开设。

【专利技术属性】
技术研发人员：冀然，
申请(专利权)人：青岛天仁微纳科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：山东;37