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本实用新型公开了一种用于纳米压印设备的自动定位工作台,包括支撑板,支撑板的上表面装配有托盘,托盘的上表面开设有贯穿孔,贯穿孔内均贯穿支撑板装配有升降支撑顶针,升降支撑顶针的上表面放置有纳米压印基底,托盘的上表面开设有真空吸附槽,且托盘的上表...该专利属于青岛天仁微纳科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛天仁微纳科技有限责任公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种用于纳米压印设备的自动定位工作台,包括支撑板,支撑板的上表面装配有托盘,托盘的上表面开设有贯穿孔,贯穿孔内均贯穿支撑板装配有升降支撑顶针,升降支撑顶针的上表面放置有纳米压印基底,托盘的上表面开设有真空吸附槽,且托盘的上表...