【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本技术涉及一种带微机的透射率反射率测量仪,属光学测量仪器。宽波段透射率反射率测量仪是近几年研究成功的一种高精度测量仪器,其测量波长范围为400-110nm。由于它采用了“差动平衡法”的测量原理,因面具有测量精度高(±0.05%)以及结构简单的优点。但它的最大不足之处是测量速度慢,因为是用试件放测量光路后电桥中参考路的平衡电阻值r2′和试件放入测量,光路前参考路的平衡电阻值r2之比 来表示反射率或透射率,故每测一个数据都要两次仔细调节电桥中参考路的精密电阻箱使电桥平衡。这样,每测一个波长的反射率或透射率需要几分钟时间,若要测出一条反射率(或透射率)曲线通常要花一二个小时,并且完全要靠人工操作,不能打印出测量结果;其次,在测量反射率时,由于试件放入后,在测量探器上的测量光斑是试件放入前的镜面像,即所谓“光斑反演”,会造成较大的误差;此外,这种仪器采用的是平面光栅分光,杂散光高达10-3以上。因此,对于反射(或透射)带不宽的光学膜片,若要进行高精度测量,必须加上相应波长的干涉滤光片,这既极大地增加了仪器的成本,使用也很不方便。本技术的目的旨在克服现有透射率反射率测 ...
【技术保护点】
一种带微机的透射率反射率测量仪,由光源部份、光学测量部分以及电子部份组成,其中,光学测量部份包括一个带屏蔽筒的测量路探测器P↓[1]和参考路探测器P↓[2]以及光栅单色器(4),电子部份包括分别与P↓[1]、P↓[2]并联的负载电阻R↓[1]、R↓[2]以及一个数字电压表(或面板表,下同)(11),所述P↓[1]、P↓[2]与负载电阻以及数字电压表(11)组成一个差动电桥,其特征在于测量路控测器P↓[1](17)和参考路控测器P↓[2](19)均为高旁漏电阻的硅光电探测器,在探测器P↓[1]、P↓[2]的差动信号输出端与数字电压表(11)之间有一个高输入阻抗的高精度直流放大 ...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员:唐能诚,魏建安,王克一,
申请(专利权)人:湖南省技术物理研究所,
类型:实用新型
国别省市:43[中国|湖南]
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