一种光学元件透射反射率测量仪制造技术

本实用新型专利技术提供了一种光学元件透射反射率测量仪，本实用新型专利技术采用斩光器对激光信号进行调制后经分光棱镜分为参考光和入射光，入射光照射光学元件产生透射光和反射光，光电二极管采集参考光、透射光和反射光信号并转换为电信号，电信号经过前置放大器放大后进入锁相放大器，锁相放大器输出与光强成正比的直流电压，透射光和反射光对应的直流电压与参考光对应的直流电压比对，得到光学元件的透射率和反射率。本实用新型专利技术通过设置光学标准片，对测量仪信号放大单元的放大倍数进行校正。本实用新型专利技术结构简单，使用方便，尤其适合在线测量较大尺寸光学元件的透射率和反射率。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于仪器科学领域，具体涉及一种光学元件透射反射率测量仪。
技术介绍
高功率激光在许多高新
中得到广泛应用，是当代各国竞相研究的重要领域。随着强激光技术的不断发展，特别是惯性约束核聚变系统的研制，光学系统各个单元器件所要求承受的功率密度越来越高。在高功率激光装置中，一个重要特点是众多大口径和高精密度光学元件的采用，如在激光放大和聚焦过程中所用到的放大和调制晶体等。这些光学元件的透过率和反射率极大地影响激光传输过程中的损耗和聚焦，比如反射率过高，就非常容易产生鬼光点，对装置中的其它元件造成损害。大型光学元件在使用中，绝大部分表面都经过镀膜处理，光学透过率和反射率也是评价光学元件镀膜质量的重要指标。高通量激光装置高通量运行时，如果光学元件表面留有任何污物，吸收激光后会发生爆炸性蒸发，导致玻璃或镀膜表面损伤，降低光学元件的损伤阈值，这要求光学元件具有很高的洁净度。光学元件的透过率也是衡量光学元件表面洁净度的一个重要指标。当前，测量光学元件的透射和反射率的主要仪器是分光光度计，这种仪器测量结果精确，且能够测量光学元件在某个波段的透过率。但是分光光度计一般采用光电倍增管加积本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学元件透射反射率测量仪，其特征在于，包括激光器（1）、斩光器（2）、分光镜（3）、光电二极管Ⅰ（4）、光电二极管Ⅱ（5）、光电二极管Ⅲ（6）、前置放大器Ⅰ（7）、前置放大器Ⅱ（8）、前置放大器Ⅲ（9）、锁相放大器Ⅰ（10）、锁相放大器Ⅱ（11）、锁相放大器Ⅲ（12）、光学元件卡具（13）、光学标准片（14）和计算机（15）；所述的激光器（1）发出的连续激光经过斩光器（2）调制成脉冲激光，调制后的脉冲激光经过分光镜（3）分成能量相同的两束脉冲激光，一束脉冲激光被光电二极管Ⅰ（4）接收并转换为电信号，电信号经过前置放大器Ⅰ（7）放大和锁相放大器Ⅰ（10）的再次放大后，直接传输到计算机（15）...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：贾宝申，吕海兵，苗心向，周国瑞，牛龙飞，刘昊，邹睿，李可欣，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心，
类型：新型
国别省市：四川;51