一种起伏检测装置，具有：照射部（线照明（２）），对被检物实施光照射；光强取得部（区域传感器（３）），取得来自上述被检物表面的光的光强分布；拍摄部（线传感器（４）），仅对来自上述被检物表面的光中的预定的光进行拍摄；调整部（图像处理部（２０）和照明驱动控制部（２１）），根据上述光强取得部取得的光强分布，对上述照射部（线照明（２））进行调整；以及判断部（缺陷判断处理部（２３）），根据经上述调整后的拍摄部的拍摄结果，对被检物表面所形成的起伏状态进行判断。由此，即使是对于大型基板（滤色器基板等），也可既简单又高精度地对其表面的起伏状态（膜厚差）进行检测。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种对其表面有细微起伏(undulation)的物体的起伏状态进行检测的检测方法。
技术介绍
近年来，对液晶电视机、液晶监视器等液晶显示装置的需求不断扩大，同时，对其成本降低的要求也逐年高涨。尤其是，在液晶显示装置制造成本中滤色器所占的比例较大，因此，要求削减滤色器的制造成本。当滤色器的各像素之间产生数十nm的膜厚差时，会导致像素间的透过率以及盒间隙(cell gap)产生差异，从而，在滤色器进行面板化时发生色不均匀缺陷等缺陷的问题。因此，在形成滤色器后对其进行检测，防止缺陷品流入到后续步骤，从而达到提高成品率的目的。然而，即使在滤色器的各像素之间的膜厚差为数十nm的情况下，像素之间的透过率可能仅相差l。/。未满的程度。即，即使直接拍摄透过光，也几乎检测不出亮度的变化，从而，难以检测出作为缺陷的数十nm程度的膜厚差。对此，在专利文献l中揭示了以下的检测方法，即，将光源的可干涉光束分为两组，一组光束以近似于水平的角度照射滤色器，另一组光束为参照光束，使滤色器的反射光束和参照光束相互干涉并根据位相所表示的信号来检测滤色器的膜厚，从而检测出条状不均匀缺陷。专利文献l:日本国专利申请公开特开2000-121323号公报，公开日2000年4月28日。
技术实现思路
但是，在用于形成滤色器的透明基板(母体玻璃)正逐年大型化(例如，边长2m的四方形)的趋势下，需要削减每一块面板的平均制造成本。其结果，难以通过专利文献l所揭示的方法，即，通过调整各个拍摄系统的方法来使滤色器的反射光束和参照光束的相互干涉。另外，虽然还可以通过上下左右移动基板进行观察的目视检测装置来进行检测，但是随着母板的大型化，也需要使目视检测装置大型化，而且，通过目视检测，难以检测出数十nm的厚度差，另外，检测精度还因人而异，由此，将导致成品率低下。本专利技术是鉴于上述问题而进行开发的，其目的在于提供一种即使是对于边长2m的四方形大型基板(滤色器等)也可既简单又高精度地检测其表面起伏(膜厚差)的起伏检测装置。艮P，为了实现上述目的，本专利技术的起伏检测装置是用于对被检物表面所形成的起伏状态进行判断的装置，其特征在于包括照射部，对上述被检物实施光照射；光强取得部，取得来自上述被检物表面的光的光强分布，上述被检物表面被实施了上述光照射；拍摄部，仅对来自上述被检物表面的光中的预定的光进行拍摄；调整部，根据上述光强取得部取得的光强分布，对上述照射部或拍摄部进行调整；以及判断部，根据经上述调整后的拍摄部的拍摄结果，对被检物表面的起伏状态进行判断。根据上述结构，上述调整部根据上述光强取得部取得的光强分布，对上述照射部或拍摄部进行调整。由此，拍摄部能够仅取得来自上述被检物表面的各种光中的所期望的光。因此，上述判断部能够根据该拍摄部所取得的结果，既简单又高精度地对被检测物表面的起伏状态进行判断。另外，由于本专利技术的起伏检测装置的结构非常简单，所以，适用于对例如边长2m的四方形的大型基板(滤色器基板等)进行检测。另外，通过对被检测物(例如，滤色器基板)进行缺陷判断，可及早向制造装置进行反馈以及保证向后续步骤提供良品，从而可实现生产成品率的提高和成本削减。另外，优选的是，上述调整部对上述照射部或拍摄部进行调整，使得能根据上述光强分布来识别正反射区域、漫反射区域和低反射区域，并使得上述拍摄部能够取得来自边界附近区域的光，其中，该边界是上述漫反射区域与上述低反射区域之间的边界。另外，上述光强取得部优选具备区域传感器，该区域传感器呈区域状地取得来自被检物表面的光。根据该结构，区域传感器拍摄一次即可取得光强分布，可缩短工序作业时间。另外，优选的是，上述照射部是呈线状进行光照射的线照明；上述拍摄部具备线传感器，该线传感器呈线状地取得来自被检物表面的光。根据该结构，在确保检测精度的同时可实现装置(光强取得部以及拍摄部)的小型化，还可以縮短工序作业时间。此外，上述线照明优选采用石英棒。根据该结构，能够使被检测物表面的照射亮度均一化，并提高检测精度。另外，在本专利技术的起伏检测装置中，来自上述被检测物表面的光可以是被检测物表面的反射光(即，将照射部设置在被检测物的表面一侧)。此外，如果上述被检物具有透光性，来自被检物表面的光是从被检物的背面透射到表面并由被检物表面所反射的光(即，将照射部设置在被检测物的背面一侧)。此外，上述调整部优选通过移动照射部或拍摄部来调整移动照射部和拍摄部的相对位置关系。根据该结构，易于对照射部或者拍摄部进行调整。另外，为了解决上述课题，本专利技术的起伏检测装置是对被检物表面的起伏状态进行判断的装置，其特征在于，包括照射部，对上述被检物进行光照射；拍摄部，仅取得来自上述被检物表面的光中的预定的光；设定部， 一边移动照射部一边通过上述拍摄部进行拍摄，从而取得来自被检物表面的光的光强分布，并根据该光强分布来设定上述照射部与拍摄部的相对位置关系；以及判断部，根据经上述设定后的拍摄部的拍摄结果，对被检物表面的起伏状态进行判断。根据上述结构，上述设定部根据光强取得部取得的光强分布对上述照射部或者拍摄部进行调整。从而，拍摄部能够从来自被检测物表面的各种光中取得所期望的光(适合用于判断起伏状态的光)。因此，上述判断部能够根据该拍摄部取得的结果既简单又高精度地判断被检测物表面的起伏状态。另外，在本起伏检测装置中可省去光强取得部，其结构非常简单，因此可实现装置的小型化以及制造成本的削减。从而，更适用于大型基板(滤色器基板等)的检测。另外，优选的是，上述设定部对上述照射部与拍摄部的相对位置关系进行设定，使得能够根据上述光强分布来识别正反射区域、漫反射区域和低反射区域，并使得上述拍摄部能够取得来自边界附近区域的光，其中，上述边界是上述漫反射区域与上述低反射区域之间的边界。另外，优选的是，上述照射部是呈线状进行光照射的线照明，上述拍摄部是呈线状取得被检测物表面的光的线传感器。此外，本专利技术的起伏检测装置优选具有用于调整照射光束的光束调整部。从而，可减少非观察对象点以外的光，可精确地取得光强分布。由此，可精确地调整(设定)照射部和/或拍摄部的位置，可高精度地判断被检测物表面的起伏状态。此时，上述光束调整部还可具有狭缝。另外，上述狭缝的位置和/或缝宽可变时，即使照射部或者拍摄部的位置发生变化，也可以对被检测物表面照射必要的光量。另外，为了解决上述课题，本专利技术的起伏检测方法为利用照射部和拍摄部对被检物表面的起伏状态进行检测，该照射部用于对上述被检物进行光照射，该拍摄部仅取得来自上述被检物表面的光中的预定的光，该起伏检测方法的特征在于包括光强取得步骤，对上述被检物进行光照射，并取得来自上述被检物表面的光的光强分布；调整步骤，根据上述光强分布取得步骤中取得的光强分布，对上述照射部或拍摄部进行调整；以及判断步骤，根据经上述调整后的上述拍摄部的拍摄结果，对被检物表面的起伏状态进行判断。此外，优选的是，在上述调整步骤中，对上述照射部或拍摄部进行调整，使得能够根据上述光强分布来识别正反射区域、漫反射区域和低反射区域，并使得上述拍摄部能够取得来自边界附近区域的光，其中，上述边界是上述漫反射区域与上述低反射区域之间的边界。另外，优选的是，本专利技术的起伏检测装置的控制程序用于对上述起伏检测装置进行控制，其特本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种起伏检测装置，用于对被检物的表面所形成的起伏状态进行判断，其特征在于，包括： 照射部，对上述被检物实施光照射； 光强取得部，取得来自上述被检物表面的光的光强分布，上述被检物表面被实施了上述光照射； 拍摄部，仅对来自上述被检物表面的光中的预定的光进行拍摄； 调整部，根据上述光强取得部取得的光强分布，对上述照射部和／或拍摄部进行调整；以及 判断部，根据经上述调整后的拍摄部的拍摄结果，对被检物表面的起伏状态进行判断。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤健二，井殿多闻，村上豪，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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