扫描型探针显微镜制造技术

本发明专利技术提供一种扫描型探针显微镜。扫描型探针显微镜包括壳体、致动器、至少一个弹性构件、探针。致动器包含圆筒状的压电扫描器和试样保持构件。压电扫描器与壳体呈同轴状地配置于壳体内，并且其第1端固定于底部。试样保持构件设于压电扫描器的第2端。至少一个弹性构件配置为夹在压电扫描器和试样保持构件中的至少一者与壳体之间。

【技术实现步骤摘要】
扫描型探针显微镜
本专利技术涉及一种扫描型探针显微镜。
技术介绍
作为公开了扫描型探针显微镜的结构的现有文献，有国际公开第2015/140996号。国际公开第2015/140996号所记载的扫描型探针显微镜包括圆筒形的压电扫描器、设于压电扫描器的上部并且保持试样的试样台、配置于试样的上方的探针。针对扫描型探针显微镜要求抑制扫描范围变窄并且提高扫描速度。
技术实现思路
专利技术要解决的问题本专利技术的主要的目的在于提供一种能够抑制扫描范围变窄并且提高扫描速度的扫描型探针显微镜。用于解决问题的方案本专利技术的第1技术方案的扫描型探针显微镜包括有底筒状的壳体、致动器、至少一个弹性构件、探针。壳体具有底部和周壁部。致动器配置于壳体的内侧。至少一个弹性构件配置于壳体与致动器之间。探针相对于致动器相对地进行扫描。致动器包含圆筒状的压电扫描器和试样保持构件。压电扫描器具有轴向上的第1端和与第1端所在侧相反的那一侧的第2端，并且具有被施加电压从而使压电扫描器沿着上述轴向位移的第1电极部以及被施加电压从而使压电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扫描型探针显微镜，其中，/n该扫描型探针显微镜包括：/n有底筒状的壳体，其具有底部和周壁部；/n致动器，其配置于所述壳体的内侧；/n至少一个弹性构件，其配置于所述壳体与所述致动器之间；以及/n探针，其相对于所述致动器相对地进行扫描，/n所述致动器包含圆筒状的压电扫描器和试样保持构件，/n所述压电扫描器具有轴向上的第1端和与该第1端所在侧相反的那一侧的第2端，并且具有被施加电压从而使所述压电扫描器沿着所述轴向位移的第1电极部以及被施加电压从而使所述压电扫描器沿着与所述轴向正交的方向位移的第2电极部，/n所述压电扫描器与所述壳体呈同轴状地配置于所述壳体内，并且所述第1端固定于所述底部，/n...

【技术特征摘要】
20190425 JP 2019-0838561.一种扫描型探针显微镜，其中，
该扫描型探针显微镜包括：
有底筒状的壳体，其具有底部和周壁部；
致动器，其配置于所述壳体的内侧；
至少一个弹性构件，其配置于所述壳体与所述致动器之间；以及
探针，其相对于所述致动器相对地进行扫描，
所述致动器包含圆筒状的压电扫描器和试样保持构件，
所述压电扫描器具有轴向上的第1端和与该第1端所在侧相反的那一侧的第2端，并且具有被施加电压从而使所述压电扫描器沿着所述轴向位移的第1电极部以及被施加电压从而使所述压电扫描器沿着与所述轴向正交的方向位移的第2电极部，
所述压电扫描器与所述壳体呈同轴状地配置于所述壳体内，并且所述第1端固定于所述底部，
所述试样保持构件设于所述压电扫描器的所述第2端，
所述至少一个弹性构件配置为夹在所述压电扫描器和所述试样保持构件中的至少一者与所述壳体之间。


2.根据权利要求1所述的扫描型探针显微镜，其中，
所述至少一个弹性构件为O型密封圈。


3.根据权利要求1所述的扫描型探针显微镜，其中，
所述第1电极部在所述轴向上位于比所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：平出雅人，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP