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本发明提供一种扫描型探针显微镜。扫描型探针显微镜包括壳体、致动器、至少一个弹性构件、探针。致动器包含圆筒状的压电扫描器和试样保持构件。压电扫描器与壳体呈同轴状地配置于壳体内，并且其第1端固定于底部。试样保持构件设于压电扫描器的第2端。至少一...
该专利属于株式会社岛津制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社岛津制作所授权不得商用。

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