用于检测物体中的缺陷的装置及其方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于检测物体(202)中的缺陷(209)的方法(1)和装置，包括以下步骤：(i)使用至少一个光源(201)照射所述物体(202)，其中来自所述光源(201)的光在所述物体(202)内透反射，导致从所述物体(202)的亚表面(211)照射(101)；然后，所述物体(202)被至少一个检测器(203)连续检查，当所述物体(202)相对于所述检测器(203)平移并且所述检测器(203)能够检测来自所述物体(202)的透反射光(207)时(103)；最后，通过评估阴影表示(208)和来自所述物体(202)亚表面(211)的所述透反射光(207)之间的强度差来识别所述缺陷(209)，其中所述阴影表示(208)是通过在所述物体(202)被平移时由于所述缺陷(209)中断所述透反射光(207)的传输而产生的(105)。

【技术实现步骤摘要】
用于检测物体中的缺陷的装置及其方法
本专利技术涉及用于检测物体中的缺陷的方法和装置，其中所述方法能够以由于不想要的噪声引起的相对较少的干扰来自动检测所述缺陷(例如太阳能电池或硅晶片中的微裂纹)的存在和位置，其中所述方法包括以下步骤：(i)使用至少一个光源照射所述物体，其中来自所述光源的光通过所述物体的亚表面透反射(transflected)；当所述物体相对于所述检测器平移时，所述物体被至少一个检测器连续检查，并且所述检测器能够检测来自所述物体的透反射光；并且通过评估阴影表示和来自所述物体亚表面的所述透反射光之间的强度差来识别所述缺陷，其中所述阴影表示是通过在所述物体被平移时由于所述缺陷中断所述透反射光的传输而产生的。
技术介绍
众所周知，用于检测晶体硅太阳能电池中的微裂纹的当前商业上可获得的检查技术(如电致发光(EL)和光致发光(PL))具有严重的缺点，其中不想要的噪声可能掩盖微裂纹，导致难以检测自动机器视觉图像处理算法的缺陷，其中所述不想要的噪声是由晶界、位错、划痕等引起的。约尔格(Joerg)等人的WO2010121753A1公开了本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于检测物体(202)中的缺陷(209)的方法(1)，包括以下步骤：/n(i)使用至少一个光源(201)照射所述物体(202)，其中来自所述光源(201)的光在所述物体(202)内透反射，导致从所述物体(202)的亚表面(211)照射(101)；和/n(ii)所述物体(202)被至少一个检测器(203)连续检查，当所述物体(202)相对于所述检测器(203)平移并且所述检测器(203)能够检测来自所述物体(202)的透反射光(207)时(103)；/n其特征在于，/n(iii)通过评估阴影表示(208)和来自所述物体(202)亚表面(211)的所述透反射光(207)之间的强度差来识别所...

【技术特征摘要】
20190430 MY PI20190024411.一种用于检测物体(202)中的缺陷(209)的方法(1)，包括以下步骤：
(i)使用至少一个光源(201)照射所述物体(202)，其中来自所述光源(201)的光在所述物体(202)内透反射，导致从所述物体(202)的亚表面(211)照射(101)；和
(ii)所述物体(202)被至少一个检测器(203)连续检查，当所述物体(202)相对于所述检测器(203)平移并且所述检测器(203)能够检测来自所述物体(202)的透反射光(207)时(103)；
其特征在于，
(iii)通过评估阴影表示(208)和来自所述物体(202)亚表面(211)的所述透反射光(207)之间的强度差来识别所述缺陷(209)，其中所述阴影表示(208)是通过在所述物体(202)被平移时由于所述缺陷(209)中断所述透反射光(207)的传输而产生的(105)。


2.如权利要求1所述的用于检测物体(202)中的缺陷(209)的方法(1)，其中所述物体(202)能够为太阳能电池、硅晶片等。


3.如权利要求1所述的用于检测物体中的缺陷(209)的方法(1)，其中所述检测器(203)包括线扫描相机等。


4.一种用于检测物体(202)中的缺陷(209)的装置(5)，其中所述装置(5)包括：
至少一个光源(201)，所述至少一个光源(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：张昭炜，泽纳布·马达维普尔，
申请(专利权)人：视泰科技控股公司，
类型：发明
国别省市：马来西亚;MY