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用于检测物体中的缺陷的装置及其方法制造方法及图纸
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文档序号:26167937
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本发明涉及一种用于检测物体(202)中的缺陷(209)的方法(1)和装置,包括以下步骤:(i)使用至少一个光源(201)照射所述物体(202),其中来自所述光源(201)的光在所述物体(202)内透反射,导致从所述物体(202)的亚表面(2...
该专利属于视泰科技控股公司所有,仅供学习研究参考,未经过视泰科技控股公司授权不得商用。
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