下载用于检测物体中的缺陷的装置及其方法的技术资料

文档序号:26167937

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种用于检测物体(202)中的缺陷(209)的方法(1)和装置,包括以下步骤:(i)使用至少一个光源(201)照射所述物体(202),其中来自所述光源(201)的光在所述物体(202)内透反射,导致从所述物体(202)的亚表面(2...
该专利属于视泰科技控股公司所有,仅供学习研究参考,未经过视泰科技控股公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。