大数值孔径激光镜头成像检验系统技术方案

本发明专利技术公开了一种大数值孔径激光镜头成像检验系统，单模单色光源和光纤准直镜构成平行光系统，待测激光镜头沿光轴滑动安装在光纤准直镜和标准物镜之间，用于将入射平行光束聚焦为焦点光斑，且焦点光斑的位置与标准物镜的焦点重合，标准物镜和标准管镜组成共轭成像系统，用于将焦点光斑放大成聚焦光束像并投影到所述面阵CCD元件上，面阵CCD元件的位置与标准管镜的焦点重合，共轭成像系统的放大倍率为10X‑100X，待测激光镜头的数值孔径NA小于等于标准物镜的数值孔径NA。具有操作灵活、可视性强、容易判定和标准化的特点，提升激光光学镜头设计及光学检验的质量和效率，使激光镜头的生产具有更高的生产效率和更规范的检验质量控制。

【技术实现步骤摘要】
大数值孔径激光镜头成像检验系统
本专利技术属涉及光学检验
，具体涉及一种大数值孔径激光镜头的成像检验系统。
技术介绍
在现代工业生产中，运用激光作为加工手段进行各种材料的切割、焊接、标记等已经非常广泛。随着激光切割过程中要求烧蚀宽度减小和材料损失减少，需要采用数值孔径更大、聚焦光斑更小的激光镜头，才能提升加工效率，减少材料的浪费。而数值孔径更大、聚焦光斑更小的激光镜头，其生产装配精度要求也更高。高精度镜头的检验，一般采用星点法，即通过观察一个点光源经光学系统后在像面及像面前后不同截面上所成衍射像(通常称为星点像)的形状及光强分布来定性评价光学系统成像好坏的方法。它具有使用设备简单，现象直观，但对操作者的经验要求较高。星点法通常是将一块未经冲洗的黑白照相底片放在盖玻片下，用低倍物镜寻找极微小的透光孔。这类底片上涂布的感光胶膜是不透光的，但在这种胶片上总是有一些比显微镜最小分辨距离更小的小孔，作为理想的点光源。当物镜的焦点对准小孔时可看到明亮的小点，这种小孔可能有多个，且不容易区分，孔的大小也不能确定。另外，激光加工中所用的镜头，属于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种大数值孔径激光镜头成像检验系统，包括待测激光镜头(1)，其特征在于：还包括依次间隔设置的单模单色光源(2)、光纤准直镜(3)、标准物镜(4)、标准管镜(5)和面阵CCD元件(6)，所述单模单色光源(2)和光纤准直镜(3)构成平行光系统，待测激光镜头(1)沿光轴滑动安装在光纤准直镜(3)和标准物镜(4)之间，用于将入射平行光束聚焦为焦点光斑(7)，且所述焦点光斑(7)的位置与标准物镜(4)的焦点重合，所述标准物镜(4)和标准管镜(5)组成共轭成像系统，用于将焦点光斑(7)放大成聚焦光束像(8)并投影到所述面阵CCD元件(6)上，所述面阵CCD元件(6)的位置与标准管镜(5)的焦点重合，所...

【技术特征摘要】
1.一种大数值孔径激光镜头成像检验系统，包括待测激光镜头(1)，其特征在于：还包括依次间隔设置的单模单色光源(2)、光纤准直镜(3)、标准物镜(4)、标准管镜(5)和面阵CCD元件(6)，所述单模单色光源(2)和光纤准直镜(3)构成平行光系统，待测激光镜头(1)沿光轴滑动安装在光纤准直镜(3)和标准物镜(4)之间，用于将入射平行光束聚焦为焦点光斑(7)，且所述焦点光斑(7)的位置与标准物镜(4)的焦点重合，所述标准物镜(4)和标准管镜(5)组成共轭成像系统，用于将焦点光斑(7)放大成聚焦光束像(8)并投影到所述面阵CCD元件(6)上，所述面阵CCD元件(6)的位置与标准管镜(5)的焦点重合，所述共轭成像系统的放大倍率为10X-100X，待测激光镜头(1)的数值孔径NA小于等于标准物镜(4)的数值孔径NA。


2.根据权利要求1所述的大数值孔径激光镜头成像检验系统，其特征在于：所述光纤准直镜(3)与待测激光镜头(1)之间设置有光阑(9)。


3.根据权利要求1所述的大数值孔径激光镜头成像检验系统，其特征在于：所述单模单色光源(2)、...

【专利技术属性】
技术研发人员：周志凯，刘良清，徐海锋，
申请(专利权)人：卡门哈斯激光科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32