下载大数值孔径激光镜头成像检验系统的技术资料

文档序号:26167410

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本发明公开了一种大数值孔径激光镜头成像检验系统,单模单色光源和光纤准直镜构成平行光系统,待测激光镜头沿光轴滑动安装在光纤准直镜和标准物镜之间,用于将入射平行光束聚焦为焦点光斑,且焦点光斑的位置与标准物镜的焦点重合,标准物镜和标准管镜组成共轭...
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