具有集成特征的传感器组件制造技术

一种传感器组件(40)，包括具有第一构件(44)和第二构件(46)的传感器管芯(42)。第一构件(44)包括在第一构件的相反的表面之间延伸的膜片(54)。多个电感测元件(58)设置在第一构件内，并且沿着第一构件表面定位在膜片(54)附近。第二构件(46)沿着包括电感测元件(58)的表面与第一构件(44)附接。第二构件具有与第一构件形成腔室(76)的凹入部分(75)以适应膜片(54)的偏弯。第一构件包括致动元件(47)，该致动元件从表面向外延伸，并且直接定位在膜片(43)上。传感器组件包括金属连接件(56)和触头(60)，用于促进电感测元件(58)与传感器管芯的外表面之间的连接，以提供传感器组件的表面安装电连接(70)。

Sensor components with integrated features

【技术实现步骤摘要】
具有集成特征的传感器组件
本专利技术涉及用于感测力的传感器组件和方法。
技术介绍
为了确定施加在传感器元件、膜片或薄膜上的力的大小而使用传感器组件在本领域中是已知的。为了确定由物理元件施加的力的大小，使用力传感器。常规的力传感器包括：力传感器管芯，其包括膜片和与其连接的电感测元件；以及致动元件，其与传感器管芯分开制造，并且与传感器管芯结合，使得致动元件接触膜片的一部分。致动元件从力传感器延伸以接收外力，该外力然后由致动元件传递到传感器管芯的膜片上，引起膜片偏弯，该偏弯由电感测元件测量。尽管此类常规力传感器可用于确定施加在其中的力的大小，但是，这种力传感器包括的传感器管芯和致动元件单独制造，然后在后续步骤中组装在一起，这一构造需要必须严格地控制封装公差，并且这种构造的进一步减小尺寸受到限制。此外，在力传感器的重复操作期间，放置在传感器管芯膜片的顶部上的分离的致动元件的布置以及在它们之间的重复接触可能导致传感器膜片接触疲劳问题，这可能会缩短这种力传感器的有效使用寿命。此外，这种已知的力传感器的感测元件可能暴露于外部环境，这可能影响力传感器的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种传感器组件(40)，包括：/n传感器管芯(42)，其包括：/n第一构件(44)，其包括在第一构件的第一表面和第一构件的相反的第二表面之间延伸的膜片(54)，其中，多个电感测元件(58)设置在第一构件内并沿第一表面位于膜片附近；/n第二构件(46)，其沿着所述第一表面与第一构件附接，第二构件包括与第一构件第一表面形成腔室(76)的凹入部分(75)；/n其中，第一构件包括与之附接并且从第一构件第二表面向外延伸的致动元件(47)。/n

【技术特征摘要】
20190425 US 16/394,9151.一种传感器组件(40)，包括：
传感器管芯(42)，其包括：
第一构件(44)，其包括在第一构件的第一表面和第一构件的相反的第二表面之间延伸的膜片(54)，其中，多个电感测元件(58)设置在第一构件内并沿第一表面位于膜片附近；
第二构件(46)，其沿着所述第一表面与第一构件附接，第二构件包括与第一构件第一表面形成腔室(76)的凹入部分(75)；
其中，第一构件包括与之附接并且从第一构件第二表面向外延伸的致动元件(47)。


2.根据权利要求1所述的传感器组件，其中，致动元件(47)直接定位在膜片(54)上。


3.根据权利要求2所述的传感器组件，其中，凹入部分(75)直接定位在膜片(54)的对面。


4.根据权利要求1所述的传感器组件，其中，致动元件(47)和膜片(54)均与第一构件(44)成一体。


5.根据权利要求1所述的传感器组件，还包括一个或多个金属接触件(70)，其与第二构件的与第一构件相背的表面连接，其中，所述一个或多个金属接触件(70)与第一构件中的电感测元件(58)电连接，并且其中，所述金属接触件(70)有助于传感器组件的表面安装电连接。


6.根据权利要求1所述的传感器组件，其中，所述传感器管芯的第一(44)和第二构件(46)均由硅形成并且结合在一起。


7.一种力传感器组件(40)，包括传感器管芯(42)，传感器管芯包括与第二构件(46)结合在一起的第一构件(44)，其中，第...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈雅媚，J霍夫曼，
申请(专利权)人：测量专业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US