下载具有集成特征的传感器组件的技术资料

文档序号:26167279

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一种传感器组件(40),包括具有第一构件(44)和第二构件(46)的传感器管芯(42)。第一构件(44)包括在第一构件的相反的表面之间延伸的膜片(54)。多个电感测元件(58)设置在第一构件内,并且沿着第一构件表面定位在膜片(54)附近。第...
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