一种测量微棱镜反射波前的干涉仪制造技术

本发明专利技术公开了一种测量微棱镜反射波前的干涉仪，与干涉仪本体相对应，干涉仪本体上安装有镜头；所述镜头的前方安装有待测的棱镜；所述镜头上设置有球面镜片，球面镜片的光线直射到待测的棱镜上；所述待测的棱镜的一侧设置有球面反射镜；球面反射镜的凹面面对待测的棱镜。本发明专利技术能够实现与实际使用场景完全吻合的效果，并且检测结果能够真实反映微棱镜面形对光学系统的影响，可靠性得到了大幅度的提升。

【技术实现步骤摘要】
一种测量微棱镜反射波前的干涉仪
本专利技术涉及干涉仪领域，具体而言，涉及一种测量微棱镜反射波前的干涉仪。
技术介绍
微棱镜的斜面是工作面，其面形或反射波前的检测，需要借助于激光干涉仪。激光良好的空间相干性和时间相干性是一把双刃剑，在测试微棱镜工作面的反射波前时，其两个直角面的内反射光同样会形成干涉条纹，与正常的干涉条纹叠加在一起，干扰测量。现有的技术方案：如图1所示，方案1的干涉仪安装平面参考镜14，干涉仪的镜头12平行光出射，待测的棱镜13的工作面(斜面)正对着平行光放置，干涉仪检测的是工作面的面形。缺点在于，除了工作面的反射光外，棱镜13两个直角面的内反射光也会原路返回干涉仪11，且由于两个直角面的反射均为全反，因此干扰光束的强度还远远超过工作面的反射光(工作面的反射光强是入射光强的4％，而干扰光强是入射光强的96％*96％＝92％)，工作面形成的干涉条纹几乎不可观察。只能在直角面涂抹凡士林类的油脂来消除干扰光。凡士林的涂抹和清洁会严重影响测试的效率，且有可能造成表面光洁度的损伤。如图2所示，方案2的干涉仪2本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种测量微棱镜反射波前的干涉仪，与干涉仪本体相对应，干涉仪本体上安装有镜头；所述镜头的前方安装有待测的棱镜；/n其特征在于：/n所述镜头上设置有球面镜片，球面镜片的光线直射到待测的棱镜上；所述待测的棱镜的一侧设置有球面反射镜；球面反射镜的凹面面对待测的棱镜。/n

【技术特征摘要】
1.一种测量微棱镜反射波前的干涉仪，与干涉仪本体相对应，干涉仪本体上安装有镜头；所述镜头的前方安装有待测的棱镜；
其特征在于：
所述镜头上设置有球面镜片，球面镜片的光线直射到待测的棱镜上；所述待测的棱镜的一侧设置有球面反射镜；球面反射镜的凹面面对待测的棱镜。


2.根据权利要求1所述的一种测量微棱镜反射波前的干涉仪，其特征在于：所述待测的棱镜的侧面为工作面，工作面斜向设置；工作面、球面...

【专利技术属性】
技术研发人员：祝沛，
申请(专利权)人：上海乾曜光学科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31