微机电系统绝对压力传感器、传感器单体及电子设备技术方案

本说明书实施例提供微机电系统绝对压力传感器、传感器单体及电子设备。微机电系统绝对压力传感器包括：衬底；振膜；位于振膜和衬底之间的支撑体；磁阻元件；以及磁场形成元件，用于对磁阻元件施加磁场，其中，所述衬底、振膜和支撑体形成真空腔，其中，所述磁阻元件和磁场形成元件中的一个元件位于所述振膜上并能够随所述振膜振动，其中，所述磁阻元件和磁场形成元件中的另一个元件位于所述支撑体侧并且相对于所述振膜的振动保持相对静止，以及其中，微机电系统绝对压力传感器的输出是基于所述磁阻元件的变化产生的。

【技术实现步骤摘要】
微机电系统绝对压力传感器、传感器单体及电子设备
本说明书涉及微机电系统传感器
，更具体地，涉及一种微机电系统绝对压力传感器、传感器单体及电子设备。
技术介绍
压力传感器可以感测外界压力的大小。绝对压力传感器是一种压力传感器。图1示出了一个绝对压力传感器的例子。在图1中，背极板11、压力感测膜12和间隔件13形成真空腔。这里的真空指的是近似真空，可以是气压远低于标准大气压的环境。压力感测膜12可以接受外界的压力变化，从而产生形变，以靠近或远离背极板11。此时，背极板11和压力感测膜12之间的电容发生变化。通过检测这种电容变化，可以确定压力的大小。麦克风可以感测声压，并且可以被认为是压力传感器中的一种。电容型麦克风利用电容变化产生声音信号。在电容型麦克风中，当振膜接受到声压时，振膜发生振动。此时，振膜和背极板之间的电容发生变化。这种电容变化对应于声音信号。通常，麦克风的声腔与外界是联通的，因此，在麦克风的振膜和背极板中具有孔洞，以便声压能够带动空气流动。这种麦克风的封装通常是开腔的，并且与注塑封装方式相比，体积较大。因此，需要本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微机电系统绝对压力传感器，包括：/n衬底；/n振膜；/n位于振膜和衬底之间的支撑体；/n磁阻元件；以及/n磁场形成元件，用于对磁阻元件施加磁场，/n其中，所述衬底、振膜和支撑体形成真空腔，/n其中，所述磁阻元件和磁场形成元件中的一个元件位于所述振膜上并能够随所述振膜振动，/n其中，所述磁阻元件和磁场形成元件中的另一个元件位于所述支撑体侧并且相对于所述振膜的振动保持相对静止，以及/n其中，微机电系统绝对压力传感器的输出是基于所述磁阻元件的变化产生的。/n

【技术特征摘要】
1.一种微机电系统绝对压力传感器，包括：
衬底；
振膜；
位于振膜和衬底之间的支撑体；
磁阻元件；以及
磁场形成元件，用于对磁阻元件施加磁场，
其中，所述衬底、振膜和支撑体形成真空腔，
其中，所述磁阻元件和磁场形成元件中的一个元件位于所述振膜上并能够随所述振膜振动，
其中，所述磁阻元件和磁场形成元件中的另一个元件位于所述支撑体侧并且相对于所述振膜的振动保持相对静止，以及
其中，微机电系统绝对压力传感器的输出是基于所述磁阻元件的变化产生的。


2.根据权利要求1所述的微机电系统绝对压力传感器，其中，所述一个元件是磁场形成元件并位于所述振膜上，以及所述另一个元件是磁阻元件并位于所述支撑体侧。


3.根据权利要求2所述的微机电系统绝对压力传感器，其中，所述磁阻元件包括至少两个磁阻元件，用于充当检测电路中惠斯通电桥的至少两个电桥臂。


4.根据权利要求2所述的微机电系统绝对压力传感器，其中，在衬底中，与磁场形成元件相对的位置设置磁性元件，所述磁性元件在磁场形...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹泉波，冷群文，丁凯文，赵海伦，安琪，周汪洋，
申请(专利权)人：歌尔微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37