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微机电系统绝对压力传感器、传感器单体及电子设备技术方案
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文档序号:26167176
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本说明书实施例提供微机电系统绝对压力传感器、传感器单体及电子设备。微机电系统绝对压力传感器包括:衬底;振膜;位于振膜和衬底之间的支撑体;磁阻元件;以及磁场形成元件,用于对磁阻元件施加磁场,其中,所述衬底、振膜和支撑体形成真空腔,其中,所述磁...
该专利属于歌尔微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过歌尔微电子有限公司授权不得商用。
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