一种吸附板平面度检测装置及其检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种吸附板平面度检测装置及检测方法，包括基座；X轴模组，X轴模组沿着基座的方向水平设置；Y轴模组，检测Y轴模组垂直设置在X滑块上；Z轴模组，Z轴模组与Y轴滑板连接；检测模组，检测模组设置在Z轴模组上，检测模组包括检光栅尺、读数头，坐标针，坐标针对正设置在吸附板的上方。根据本发明专利技术实施例的吸附板平面度检测装置及检测方法，能够精确测量吸附板的平面度，且测量精度优于人工测量，有效解决了吸附板平面度低造成生产作业良品率低的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种吸附板平面度检测装置及其检测方法
本专利技术涉及半导体检测
，尤其涉及一种吸附板平面度检测装置及其检测方法。
技术介绍
在半导体行业中，常采用对待加工产品进行吸附定位，再对其进行加工的操作，如吸附基片后进行基片点胶加工，通常，吸附基片需要吸附板，而吸附板的平整度会影响基片点胶加工的精度，因此，亟需一种能够精准判断吸附板平面度的方法来筛选平面度高的吸附板。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供一种吸附板平面度检测装置及其检测方法，能够测量吸附板的平面度，避免吸附板平面度不达标造成加工作业失败的问题。为解决上述技术问题，本专利技术采用以下技术方案：根据本专利技术第一方面实施例的一种吸附板平面度检测装置，包括：基座，所述基座与坐标系中X轴方向一致；X轴模组，所述X轴模组包括X轴轨道、X轴电机和X滑块；所述X轴轨道沿着所述基座方向设置；所述X轴电机驱动所述X滑块沿着所述X轴轨道移动；Z轴模组，所述Z轴模组包括Z轴轨道、Z轴电机、Z轴滑块；所述Z轴轨道沿着所述坐标系中Z轴方向垂直设置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种吸附板平面度检测装置，其特征在于，包括：/n基座(100)，所述基座(100)与坐标系中X轴方向一致；/nX轴模组(200)，所述X轴模组(200)包括X轴轨道(210)、X轴电机和X滑块(220)；所述X轴轨道(210)沿着所述基座(100)方向设置；所述X轴电机驱动所述X滑块(220)沿着所述X轴轨道(210)移动；/nZ轴模组(300)，所述Z轴模组(300)包括Z轴轨道(310)、Z轴电机、Z轴滑块(320)；所述Z轴轨道(310)沿着所述坐标系中Z轴方向垂直设置在所述X滑块(220)上；所述Z轴电机驱动所述Z轴滑块(320)沿着所述Z轴轨道(310)移动；/nY轴模组(400...

【技术特征摘要】
1.一种吸附板平面度检测装置，其特征在于，包括：
基座(100)，所述基座(100)与坐标系中X轴方向一致；
X轴模组(200)，所述X轴模组(200)包括X轴轨道(210)、X轴电机和X滑块(220)；所述X轴轨道(210)沿着所述基座(100)方向设置；所述X轴电机驱动所述X滑块(220)沿着所述X轴轨道(210)移动；
Z轴模组(300)，所述Z轴模组(300)包括Z轴轨道(310)、Z轴电机、Z轴滑块(320)；所述Z轴轨道(310)沿着所述坐标系中Z轴方向垂直设置在所述X滑块(220)上；所述Z轴电机驱动所述Z轴滑块(320)沿着所述Z轴轨道(310)移动；
Y轴模组(400)，所述Y轴模组(400)包括Y轴轨道(410)、Y轴电机、Y轴滑块(420)和Y轴滑板(430)；所述检测Y轴轨道(410)沿着所述坐标系中Y轴方向垂直设置在所述Z滑块(320)上；所述Y轴电机驱动所述Y轴滑块(420)沿着所述Y轴轨道(410)移动；
检测模组(500)，所述检测模组(500)与所述Y轴滑板(430)连接；所述检测模组(500)包括检光栅尺、读数头(510)，坐标针(520)，所述坐标针(520)对正设置在吸附板(600)的上方。


2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括控制器，所述控制器与所述电机连接。


3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述检测模组(500)设有三个光栅尺，第一光栅尺沿着所述X轴轨道(210)设置，第二光栅尺沿着Z轴轨道(310)设置，第三光栅尺沿着所述Y轴轨道(410)设置。


4.根据权利要求1或3所述的装置，其特征在于，所述检测模组(500)设有三个读数头(510)，第一读数头用于读取所述第一光栅尺的数值，第二读数头用于读取所述第二光栅尺的数值，第三读数头用于读取所述第三光栅尺的数值。


5.一种吸附板平面度的检测方法，其特征在于，应用于权利要求1-4任一项所述的吸附板平面度检测装置，方法包括：
步骤1，将吸附板(600)放置在检测区域，并将X轴轨道(210)、Y轴轨道(410)、Z轴轨...

【专利技术属性】
技术研发人员：王小炜，陈俊儒，钟莉君，赵宁波，闵宽亮，曹葵康，蔡雄飞，
申请(专利权)人：苏州天准科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32