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本发明公开了一种吸附板平面度检测装置及检测方法，包括基座；X轴模组，X轴模组沿着基座的方向水平设置；Y轴模组，检测Y轴模组垂直设置在X滑块上；Z轴模组，Z轴模组与Y轴滑板连接；检测模组，检测模组设置在Z轴模组上，检测模组包括检光栅尺、读数头...
该专利属于苏州天准科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州天准科技股份有限公司授权不得商用。

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