一种类单晶硅片的表面处理方法技术

本发明专利技术公开了一种类单晶硅片的表面处理方法。该方法步骤如下：利用喷砂工艺，先对硅片表面进行喷砂处理，再将其放入含有氢氟酸、硝酸和添加剂的混合溶液中进行制绒；所述喷砂工艺为湿法喷砂，所述湿法喷砂是指将水与磨料所混合的喷砂液利用泵加压经由喷嘴射出，均匀地对硅片表面进行冲击，使硅片表面产生凹凸不平的制绒表面。本发明专利技术喷砂方式成本低、工艺简单、不用使用化学品，亦不需要改变现有太阳能电池制绒工艺，通过本发明专利技术处理的硅片所生成的电池片，可达到均匀绒面效果，并且消除类单晶因不同尺寸晶粒间的反射率差异所造成的颜色不均。

Surface treatment of a kind of monocrystalline silicon wafer

【技术实现步骤摘要】
一种类单晶硅片的表面处理方法
本专利技术涉及太阳能电池
，特别是一种类单晶硅片的表面处理方法。
技术介绍
类单晶(mono-like)硅片又称为准单晶或铸锭单晶硅片，一般指采用多晶铸锭的生长方式所制造出的类似单晶结构，且在同一硅片表面上存在单晶相为主但含有局部多晶相的混合晶相硅片。由于单晶硅片价格逐年下降，使得多晶硅片不再具有成本的优势，近年来多晶硅片厂开始投入研发低成本且高效率的类单晶，质量好于多晶，且成本接近铸锭多晶硅，使得类单晶的应用越来越广泛。硅片用于制造太阳能电池时需经过制绒处理，目前多晶硅采用混酸溶液低温制绒，利用混酸对硅片表面的等向性蝕刻(isotropicetching)后得到多孔绒面，单晶硅采用碱溶液高温制绒，利用碱对硅片表面的异向性蝕刻(anisotropicetching)后得到金字塔绒面。类单晶硅片同时具有单晶与多晶的晶相，使得选择酸或碱的制绒方式必须取决于单晶晶相在硅片上所占有的面积比例，当硅片表面单晶所占比例较大时，则采用碱制绒，而当硅片表面多晶所占比例较大时，则采用酸制绒。但是，在类单晶电池片本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种类单晶硅片的表面处理方法，其特征在于：利用喷砂工艺，先对硅片表面进行喷砂处理，再将其放入含有氢氟酸、硝酸和添加剂的混合溶液中进行制绒；/n所述喷砂工艺为湿法喷砂，所述湿法喷砂是指将水与磨料所混合的喷砂液利用泵加压经由喷嘴射出，均匀地对硅片表面进行冲击，使硅片表面产生凹凸不平的制绒表面。/n

【技术特征摘要】
1.一种类单晶硅片的表面处理方法，其特征在于：利用喷砂工艺，先对硅片表面进行喷砂处理，再将其放入含有氢氟酸、硝酸和添加剂的混合溶液中进行制绒；
所述喷砂工艺为湿法喷砂，所述湿法喷砂是指将水与磨料所混合的喷砂液利用泵加压经由喷嘴射出，均匀地对硅片表面进行冲击，使硅片表面产生凹凸不平的制绒表面。


2.根据权利要求1所述的类单晶硅片的表面处理方法，其特征在于：所述类单晶硅片为金刚线切割方式制造出的类单晶硅片，硅片上单晶区域面积占整体类单晶硅片面积的10％～99％。


3.根据权利要求1所述的类单晶硅片的表面处理方法，其特征在于：所述湿法喷砂工艺中磨料为150～1000目的碳化硅或氧化铝。


4.根据权利要求1、2或3所述的类单晶硅片的表面处理方法，其特征在于：所述喷砂液为水与磨料组成，其中磨料...

【专利技术属性】
技术研发人员：柯文杰，顾夏斌，杨世豪，
申请(专利权)人：苏州澳京光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32