金属被膜的成膜装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及金属被膜的成膜装置。提供一种金属被膜的成膜装置，其能够通过将各电解质膜均匀地压靠于基材的表面，从而将金属被膜在被各电解质膜压靠的基材的表面均匀地成膜。成膜装置(1)具备压靠装置(20)以及在阳极(11A、11B)和基材(SA、SB)之间施加电压的电源部(16A、16B)，该压靠装置(20)具有第一和第二成膜单元(10A、10B)、将第一和第二成膜单元(10A、10B)连结的连结部(21)、以及经由连结部(21)用各成膜单元(10A、10B)的电解质膜(13A、13B)压靠基材(SA、SB)的压靠部(24)。成膜单元(10A、10B)中，每个成膜单元(10A、10B)经由在压靠部(24)的压靠方向上发生弹性变形的第一弹性体(30A、30B)与连结部(21)连结。

【技术实现步骤摘要】
金属被膜的成膜装置
本专利技术涉及将金属被膜在基材的表面成膜的成膜装置。
技术介绍
迄今为止，有时使金属在基材的表面析出(将金属离子还原)以将金属被膜成膜。例如，在专利文献1中，提出了一种成膜装置，其具备：阳极、配置在阳极和成为阴极的基材之间的电解质膜、在阳极和电解质膜之间容纳包含金属离子的金属溶液的液体容纳部、以及在阳极和基材之间施加电压的电源部。成膜装置进一步具备将电解质膜压靠于基材的压靠装置，液体容纳部经由在压靠装置的压靠方向可弹性变形的弹性体而安装于压靠装置。在该成膜装置中，在将电解质膜压靠于基材时，弹性体在基材的压靠方向弹性变形，利用弹性变形了的弹性体的复原力，能够用电解质膜压靠基材的表面。此时，由于从基材向电解质膜作用的反作用力，液体容纳部内的金属溶液的液压增压。其结果，由于所增压的金属溶液的液压，能够用电解质膜均匀地压靠基材的表面。在该压靠状态下在阳极和基材之间施加电压以将电解质膜的内部所含有的金属离子还原，从而能够将均匀的金属被膜在基材的表面成膜。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.金属被膜的成膜装置，其是通过将金属离子还原从而将金属被膜在基材的表面成膜的成膜装置，其特征在于，/n上述成膜装置具备多个成膜单元、压靠装置和电源部，/n该成膜单元具有阳极、配置在上述阳极和上述基材之间的电解质膜、以及安装有上述电解质膜、以包含上述金属离子的金属溶液与上述电解质膜接触的方式将上述金属溶液在密封的状态下容纳的液体容纳部，/n该压靠装置具有将上述各成膜单元连结的连结部、和经由上述连结部用上述各成膜单元的上述电解质膜压靠上述基材的压靠部，/n该电源部在上述各成膜单元的上述电解质膜与上述基材接触的状态下，在上述阳极和上述基材之间施加电压，使得来自上述电解质膜所含浸的上述金属离子的金属...

【技术特征摘要】
20190426 JP 2019-0848471.金属被膜的成膜装置，其是通过将金属离子还原从而将金属被膜在基材的表面成膜的成膜装置，其特征在于，
上述成膜装置具备多个成膜单元、压靠装置和电源部，
该成膜单元具有阳极、配置在上述阳极和上述基材之间的电解质膜、以及安装有上述电解质膜、以包含上述金属离子的金属溶液与上述电解质膜接触的方式将上述金属溶液在密封的状态下容纳的液体容纳部，
该压靠装置具有将上述各成膜单元连结的连结部、和经由上述连结部用上述各成膜单元的上述电解质膜压靠上述基材的压靠部，
该电源部在上述各成膜单元的上述电解质膜与上述基材接触的状态下，在上述阳极...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤祐规，
申请(专利权)人：丰田自动车株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP