一种用于SLM面曝光设备的同步可变透镜及应用制造技术

本发明专利技术涉及一种用于SLM面曝光设备的同步可变透镜及应用，所述同步可变透镜包括陶瓷基片以及设置于所述陶瓷基片上的导线和多个电极单元，每一电极单元对应一透镜模块，所述导线包括高电平导线和低电平导线，每个所述电级单元包括两副电极，其中一副为固定极性电极，另一副为可变极性电极，所述固定极性电极的正电极与高电平导线连接，负电极与低电平导线连接，所述可变极性电极的两个电极通过开关模块均与高电平导线和低电平导线连接，所述开关模块在载波周期相同的上脉冲和下脉冲的激发下改变与高电平导线或低电平导线的连接状态，所述下脉冲在上脉冲之后触发。与现有技术相比，本发明专利技术具有结构简单、有效提高扫描速率等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种用于SLM面曝光设备的同步可变透镜及应用
本专利技术涉及一种SLM面曝光设备，尤其是涉及一种用于SLM面曝光设备的同步可变透镜及应用。
技术介绍
粉末床熔融增材制造主要是通过高功率激光将粉末熔合在一起，包括SLS(Selectivelasersintering，选择性激光烧结)和SLM(Selectivelasermelting，选择性激光熔化)。熔融增材制造的工艺优势在于：1)加工标准金属时，致密度超过99％，良好的力学性能与传统工艺相当；2)可加工材料种类持续增加，所加工零件可后期焊接；3)精度和表面质量相对最高，可以直接使用或者只需相对简单的后处理。因而，从产品质量上，粉末床熔融增材制造，特别是SLM，从性能上是最有望大面积替代现有工艺应用于以汽车行业为代表的高产量工业行业的现有高性能工艺的。然而其也存在劣势：1)原料价格昂贵，2)速度偏低。这就造成了该技术在这些行业推广的严重瓶颈。原料价格昂贵尚可通过新材料包开发等“软件”方式实现，但是受限于激光系统的功率与协同控制技术水平，目前只能通过多激光提高速率。就典型的SLM本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于SLM面曝光设备的同步可变透镜，其特征在于，包括陶瓷基片以及设置于所述陶瓷基片上的导线和多个电极单元，每一电极单元对应一透镜模块，所述导线包括高电平导线和低电平导线，每个所述电级单元包括两副电极，其中一副为固定极性电极，另一副为可变极性电极，所述固定极性电极的正电极与高电平导线连接，负电极与低电平导线连接，所述可变极性电极的两个电极通过开关模块均与高电平导线和低电平导线连接，所述开关模块在载波周期相同的上脉冲和下脉冲的激发下改变与高电平导线或低电平导线的连接状态，所述下脉冲在上脉冲之后触发。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于SLM面曝光设备的同步可变透镜，其特征在于，包括陶瓷基片以及设置于所述陶瓷基片上的导线和多个电极单元，每一电极单元对应一透镜模块，所述导线包括高电平导线和低电平导线，每个所述电级单元包括两副电极，其中一副为固定极性电极，另一副为可变极性电极，所述固定极性电极的正电极与高电平导线连接，负电极与低电平导线连接，所述可变极性电极的两个电极通过开关模块均与高电平导线和低电平导线连接，所述开关模块在载波周期相同的上脉冲和下脉冲的激发下改变与高电平导线或低电平导线的连接状态，所述下脉冲在上脉冲之后触发。


2.根据权利要求1所述的用于SLM面曝光设备的同步可变透镜，其特征在于，通过对所述开关模块的控制实现所述两副电极间同侧电极的极性状态，进而实现对每个透镜模块的开关状态的控制。


3.根据权利要求1所述的用于SLM面曝光设备的同步可变透镜，其特征在于，所述上脉冲的每个载波承载的脉冲个数与开关模块个数相同，且每一脉冲为高电平或低电平，在高电平下，对应开关模块导通。


4.根据权利要求1所述的用于SLM面曝光设备的同步可变透镜，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：严鹏飞，严彪，
申请(专利权)人：上海制驰智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31