下载一种用于SLM面曝光设备的同步可变透镜及应用的技术资料

文档序号:26156989

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本发明涉及一种用于SLM面曝光设备的同步可变透镜及应用,所述同步可变透镜包括陶瓷基片以及设置于所述陶瓷基片上的导线和多个电极单元,每一电极单元对应一透镜模块,所述导线包括高电平导线和低电平导线,每个所述电级单元包括两副电极,其中一副为固定极...
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