一种串联型薄膜微音电容器式检测器制造技术

一种串联型薄膜微音电容器式检测器，包括壳体、连接套、与连接套连接且套装于壳体内部的检测室组件、位于壳体底部的信号端子和安装在壳体侧壁的真空支管。所述检测室组件包括壳体Ⅰ和壳体Ⅱ。所述连接套包括用于外部连接的法兰、安装于连接套中的滤光片、安装于滤光片一侧的光学平衡孔、连接套下部的环形密封槽和环形密封切口。该检测器灵敏度高，选择性好，稳定性强，抗背景干扰性能好。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种检测器，具体的说，涉及一种串联型薄膜微音电容器式检测器。
技术介绍
薄膜微音电容器式检测器是用于检测气体密度的装置，就其构成来说有两种主要结构并联式和串联式。串联式检测器比较并联式而言，检测器灵敏度具有选择性好、灵敏度高、检测器必须密封以及必须工作 于交流调制光路等特点。现有薄膜微音电容器式检测器是双光路双串联检测室结构，其不足 在于两个检测室以及与微音薄膜电容器腔体相连接的整个气体通路，整个光学能量吸收通路之结构只有在完全相同的情况下才能减轻由于其 不对称所引起的能量吸收的不平衡现象，这要求机械加工必须极为精密，所使用的材质高度一致，这必将导致成本的增加；其次，尽管这种光路中也有前后两个吸收室，但由于分别使用两个滤光片和两个晶片而使得其一致性难以保证。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种灵敏度度高、抗干扰能力强的串联型薄膜微音电容器式检测器。为了实现本技术的目的，本技术提供了一种串联型薄膜微音电容器式检测器，包括壳体、连接套、与连接套连接且套装于壳体内 部的检测室组件、位于壳体底部的信号端子和安装在壳体侧壁的真空支 管，所述检测室器组件包括壳体i和壳体n,所述壳体I包括过渡腔、位于过渡腔上部的密封圈、位于过渡腔一 侧的干燥吸收器、位于过渡腔另一侧的挡光调节装置、与过渡腔通过晶 片连接的前吸收室、安装在前吸收室侧壁的压力平衡孔和安装在所述壳 体I下端的环形密封圈；所述壳体n包括通过晶片与前吸收室连接的后吸收室、位于后吸收室底部的反射锥、位于反射锥下面的薄膜微音电容器组^^和安装在后吸 收室侧壁的压力补偿毛细管，在所述反射锥的中央设有正对着薄膜微音电容器组件的中央压力传导孔；所述连接套包括用于外部连接的法兰、安装于连接套中的滤光片、 安装于滤光片一侧的光学平衡孔、连接套下端用于安装密封圈的环形密 封槽和环形密封切口。所述薄膜微音电容器组件包括薄膜微音组件和支持器组件，所述薄 膜微音组件和支持器组件之间通过连接件连接，在所述薄膜微音组件和支持器组件之间设有间隙，其中所述薄膜微音组件是电容器中电容动极，所述电容动极由上、下两个不锈钢环紧压住中间一片金属箔组成， 所述支持器组件包括安装在支架上的电容器中电容定极、开孔绝缘板、 电极紧固螺母、信号端子连接装置和紧固压环。所述电容动极的一侧与所述前吸收室、所述后吸收室之间，经由所 述压力平衡孔、所述壳体与壳体n之间的间隙、所述支持器组件上的开 孔绝缘板构成通道，所述电容动极的另一侧与后吸收室之间直接经压力 传导孔构成通道，所述电容动极的两侧、所述前吸收室、所述后吸收室 和所述通道在所述密封圈的作用下与外界气密隔绝。所述过渡腔的纵剖面呈梯形，过渡腔容积为4300- 5200mm3。 所述前吸收室的纵剖面呈矩形，前吸收室容积为3500 ~ 3800 mm3。 所述后吸收室的纵剖面呈梯形，后吸收室的容积为3000 - 3800mm3。所述光学平衡孔的直径为1.0~1.8mm。所述压力补偿毛细管外径为1.8~2.3mm,内径为0.1 ~ 0.3mm。所述检测室组件与所述壳体釆用高精度套口间隙配合连接，所述间隙为0.01 ~ 0.4mm。在所述壳体I上装有调节光路平衡的挡光调节装置，所述挡光调节装置包括蜗杆和有所述蜗杆带动的挡光片。本技术所述串联型薄膜微音电容器式检测器的特点是1、 检测器的灵敏度来自内部填充的气体，其吸收光谱即为检测器的工作波段，因而这种检测器具有良好的选择性。2、 由于检测器对被测气体的全部吸收波段灵敏，故其灵敏度很高。3、 检测器的一个关键问题是密封性，即使存在微漏也会导致检测器失灵。本技术所述检测器的连接采用多种密封连接，较好的解决了现有技术中检测器密封不好的问题。4、 零点稳定性好如图2所示。光学系统在零点(通零点气)工作时，串联型接收气室薄膜电容器电容动极两边(与前、后吸收室相通)的气体同时吸收红外线，其温度上升压力增大，由于方向相反，相互抵消，特殊情况下正好完全补偿。由于这种串联型接收气室在零点工作时膜片上受到的压力没有变化，因此其状态十分稳定，不易受外界干扰的影响。零点稳定是这种串联型接收气室检测器的突出优点之一。5、 抗背景干扰能力强这是本技术串联型薄膜微音电容器式检测器的又一个突出优 点。如图3所示，在图3中大致表示了这种检测器的红外能带吸收情况，(a)是检测器前室的红外辐射吸收特性曲线；b)是检测器后室的红外辐射吸收特性曲线；(C)是两者合成后的红外辐射吸收特性曲线。所 谓干扰组分对分析仪的影响，是指干扰组分在前吸收室产生的信号和在 后吸收室产生的信号合成后差值所产生的影响，实际上是通过后吸收室 的压力补偿毛细管3将干扰组分在后吸收室产生的负信号对干扰组分在 前吸收室产生的正信号补偿的作用。干扰气体边带部分的能量的吸收使 检测器后吸收室接收到的能量减小，且由于将后吸收室的吸收能量变化 通过压力补偿毛细管3被引入薄膜电容器电容动极的另一侧，从而造成 检测器出现负灵敏度现象。在某些条件下，干扰气体所造成的横向灵敏 度可能被完全消除。附图说明图l串联型薄膜微音检测器结构示意图2是串联型薄膜微音检测器中支持器组件结构图3样气前吸收室和后吸收室能量吸收变化图4串联型薄膜微音检测器抗干扰组分影响吸收特性图。图中1、滤光片；2、干燥吸收器；3、压力补偿毛细管；4、后吸 收室；5、压力传导孔；6、连接套；7、挡光调节装置；8、壳体I; 9、 前吸收室；10、壳体II; 11、薄膜微音电容器组件；12、信号端子；13、 反射锥；14、间隙配合；15-1、晶片；15-2、晶片；17、真空支管；18、 过渡腔；19、壳体；20、密封圈；21、压力平衡孔；22、密封圈；23、 光学平衡孔；24、法兰；25、不锈钢环；26、金属箔；27、支持器组件； 28、电容定极；29、开孔绝缘板；30、电极紧固螺母；31、信号端子连 接装置；32、紧固压环。具体实施方式以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。本技术的具体实施方式是釆用一种串联型薄膜微音电容器式检测器，包括壳体19、位于壳体19上部的连接套6、与连接套连接6且套 装于壳体19内部的检测室组件、位于壳体19底部的信号端子12和安装在 壳体19侧壁的真空支管17。所述检测室组件包括壳体I 8和壳体ni0,壳体I 8和壳体II10通过 壳体II10上的紧固螺钉连接，连接成 一体后的外形呈现为T字形。连接套6上部加工有用于与其他设备连接的法兰24,其内部安装滤 光片，滤光片一侧有一光学平衡孔，连接套下部有环形密封槽及密封切 口，连接套通过螺钉与壳体I8连接。壳体I8呈一扁柱体形态，包括位于壳体中心的过渡腔18、位于过 渡腔上部的密封圈22、所述密封圈22与连接套6下部的环形密封槽相配 合，位于过渡腔18—侧的干燥吸收器2、位于过渡腔18另一侧用来遮挡 红外光线的挡光调节装置7、与过渡腔18通过晶片15-1连接的前吸收室9、 安装在前吸收室8侧壁直径为1.5mm的压力平衡孔21和环形密封圈20。其 中过渡腔18纵剖面呈梯形，过渡腔18容积为4800 mm3。前吸收室9纵剖 面呈矩形，前吸收室9容积为3700mm3。干燥吸收器2用于吸附过本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种串联型薄膜微音电容器式检测器，其特征在于，包括壳体（１９）、连接套（６）、与连接套（６）连接且套装于壳体（１９）内部的检测室组件、位于壳体（１９）底部的信号端子（１２）和安装在壳体（１９）侧壁的真空支管（１７），所述检测室器组件包括壳体Ⅰ（８）和壳体Ⅱ（１０），　所述壳体Ⅰ（８）包括过渡腔（１８）、位于过渡腔（１８）上部的密封圈（２２）、位于过渡腔（１８）一侧的干燥吸收器（２）、位于过渡腔（１８）另一侧的挡光调节装置（７）、与过渡腔（１８）通过晶片（１５－１）连接的前吸收室（９）、安装在前吸收室（９）侧壁的压力平衡孔（２１）和安装在所述壳体Ⅰ（８）下端的环形密封圈（２０）；　所述壳体Ⅱ（１０）包括通过晶片（１５－２）与前吸收室（９）连接的后吸收室（４）、位于后吸收室（４）底部的反射锥（１３）、位于反射锥（１３）下面的薄膜微音电容器组件（１１）和安装在后吸收室（４）侧壁的压力补偿毛细管（３），在所述反射锥（１３）的中央设有正对着薄膜微音电容器组件（１１）的中央压力传导孔（５）；　所述连接套（６）包括用于外部连接的法兰（２４）、安装于连接套（６）中的滤光片（１）、安装于滤光片（１）一侧的光学平衡孔（２３）、连接套（６）下端用于安装密封圈（２２）的环形密封槽和环形密封切口。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郭肇新，姜培刚，
申请(专利权)人：北京北分麦哈克分析仪器有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]