【技术实现步骤摘要】
工件加工模具、工件加工方法及埋管结构
本专利技术涉及半导体
,具体涉及一种工件加工模具、工件加工方法及埋管结构。
技术介绍
对于工程应用中的水冷或空冷需求,需要制造内部带有管路的金属薄壁件。此类埋管零件内部通水或者通气,与外部形成热交换而达到冷却的目的。为了较好的散热,埋管零件的外壁需要在满足强度需求的前提下尽可能地薄,而且由于埋管零件的内壁需要接触水或者气,因此内壁管路材料存在一定限制,但在工程上往往又需要导热性较高的金属冷盘,比如铝质或铜质冷盘。铝质或铜质冷盘虽然导热效果好,但是在水冷过程可能会发生电化学腐蚀。为此,工程上也有采用不锈钢材质冷盘,此虽然抗腐蚀能力较强,但是导热性远不如铝或者铜。因此,兼具导热性和耐腐蚀性的金属冷盘已成为当前的发展趋势。但是现有较成熟的冷盘制造工艺存在管与管之间的间隙较厚、工艺难度高、成品率低、基体与管路之间贴合不紧密等问题,且内部可埋的金属管有限,这些极大地限制了埋管类零件的制造能力与应用范围。
技术实现思路
为解决上述技术问题,本专利技术的一个目 ...
【技术保护点】
1.一种工件加工方法,其特征在于,包括:/n制作上模、下模和定位装置,所述定位装置包括上定位结构和/或下定位结构,所述上定位结构形成于所述上模,所述下定位结构形成于所述下模,且所述上定位结构和/或所述下定位结构的形态与管路形状一致;/n执行合模工艺,将管路埋入所述上模和下模之间,并利用所述上定位结构和/或下定位结构将所述管路进行定位固定;/n执行预定的处理工艺,得到一埋管结构。/n
【技术特征摘要】
1.一种工件加工方法,其特征在于,包括:
制作上模、下模和定位装置,所述定位装置包括上定位结构和/或下定位结构,所述上定位结构形成于所述上模,所述下定位结构形成于所述下模,且所述上定位结构和/或所述下定位结构的形态与管路形状一致;
执行合模工艺,将管路埋入所述上模和下模之间,并利用所述上定位结构和/或下定位结构将所述管路进行定位固定;
执行预定的处理工艺,得到一埋管结构。
2.根据权利要求1所述的工件加工方法,其特征在于,所述定位装置包括上定位结构和下定位结构,所述上定位结构为形成于所述上模的上定位槽,所述下定位结构为形成于所述下模的下定位槽,所述上定位槽与所述下定位槽合围的形状与所述管路的形状一致;
所述执行合模工艺的步骤包括:将所述管路埋入所述上模和下模之间,并利用所述上定位槽和下定位槽同时对所述管路进行定位固定;
所述执行预定的处理工艺的步骤包括:执行加热工艺,对所述管路进行加热,以使所述管路将其周围的上模和下模材料熔化,而使得所述上模、下模和管路相接合,得到一埋管结构。
3.根据权利要求2所述的工件加工方法,其特征在于,在执行合模工艺时,还包括对上模和下模进行机械固定;或者,当所述上模、下模和管路相接合后,还包括对上模和下模进行机械固定。
4.根据权利要求3所述的工件加工方法,其特征在于,先执行加热工艺,后执行合模工艺。
5.根据权利要求4所述的工件加工方法,其特征在于,先执行加热工艺,后执行合模工艺的步骤包括:
合模之前,先将所述管路加热至一目标温度,该目标温度高于上模和下模的熔点且低于管路的熔点;
然后,将加热过的管路定位固定在上模和下模之间进行合模,得到所述埋管结构。
6.根据权利要求5所述的工件加工方法,其特征在于,合模之前,还对上模和下模进行预热,预热的温度低于上模和下模的熔点。
7.根据权利要求3所述的工件加工方法,其特征在于,先执行合模工艺,后执行加热工艺。
8.根据权利要求7所述的工件加工方法,其特征在于,后执行加热工艺的步骤包括:
合模之后,单独加热管路至一目标温度,该目标温度高于上模和下模的熔点且低于管路的熔点;
然后,将管路维持在目标温度下,且经过一段时间后停止加热。
9.根据权利要求8所述的工件加工方法,其特征在于,所述单独加热管路至一目标温度的步骤包括:
先加热管路,以使管路、上模和下模的温度均达到第一目标温度,第一目标温度低于上模和下模的熔点;
然后将管路迅速加热至第二目标温度,第二目标温度高于上模和下模的熔点且低于管路的熔点。
10.根据权利要求1所述的工件加工方法,其特征在于,所述定位装置包括上定位结构和下定位结构;所述上定位结构包括多个上定位柱,多个所述上定位柱在管路一侧沿着管路分布且分布形状与管路形状一致;所述下定位结构包括多个下定位柱,多个所述下定位柱在管路另一侧沿着管路分布且分布形状与管路形状一致;所述下定位柱和上定位柱的位置和数量相对应;
在制作上模和下模时,还包括在下模上制作下凹槽,以及在上模上制作上凹槽,且所述上凹槽与所述下凹槽合围的形状与所述管路的形状一致;
所述执行合模工艺的步骤包括:
先将所述管路埋入所述上模和下模之间,并利用所述上凹槽和下凹槽同时对所述管路进行预定位;然后利用多个所述下定位柱和多个所述上定位柱分别从两侧对所述管路进行压紧固定,得到一工件;
所述执行预定的处理工艺的步骤包括:
执行金属型铸造工艺,对所述工件进行加热,得到一埋管结构。
11.根据权利要求10所述的工件加工方法,其特征在于,在制作上模和下模时,还包括:将上模制作成上模本体和上金属型,以及将下模制作成下模本体和下金属型;
所述执行合模工艺的步骤包括:
先执行第一次合模工艺,将所述管路埋入所述上模本体和下模本体之间,并利用所述上凹槽和下凹槽对管路进行预定位,得到第一工件;
然后执行第二次合模工艺,将所述第一工件埋入所述上金属型和下金属型之间,得到第二工件;
之后执行定位工艺,使多个所述下定位柱依次穿过所述下金属型和下模本体后与所述管路的底部接触,且使多个所述上定位柱依次穿过所述上金属型和上模本体后与所述管路的顶部接触,得到第三工件;
且在执行金属型铸造工艺时,对所述第三工件进行加热,使所述上模本体和所述下模...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵仁洁,杨超,张丽,朱文洁,
申请(专利权)人:上海微电子装备集团股份有限公司,
类型:发明
国别省市:上海;31
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