【技术实现步骤摘要】
一种新式石墨纯化残余废气处理装置及工艺
本专利技术涉及一种炭素材料、石墨材料的纯化
，具体是一种新式石墨纯化残余废气处理装置及工艺。
技术介绍
由于石墨材料具有优异的理化性能，应用领域十分广泛，但伴随着市场对石墨材料品质的要求越来越高，如何高效科学的提升石墨材料的纯度，去除其中的杂质，成为了产业化应用过程中的重中之重。尤其是在半导体材料制备领域中，石墨材料里面所含有的金属杂质(如铁、锰、镍、铜等)对半导体材料的性能影响非常大。并且石墨材料的吸附性比较强，在长期使用过程中，也会对环境中的各种杂质进行吸附，需要对其进行定期的提纯处理。而单纯的由石墨材料厂家对石墨材料器件进行纯化处理也存在诸多不便，一是纯化炉加热空间有限，一次性纯化的石墨器件数量非常少。二是石墨器件摆放过于密集，纯化效果不理想，需要耗费较长的周期和与之伴随的高耗能，以上就导致了石墨材料纯化的成本非常高。并且废旧石墨热场需要二次提纯，在拆除石墨热场，返厂过程中会发生一定的器件破损、产生包装费和运费，影响设备稼动率，进而提升生产成本。专利...
【技术保护点】
1.一种新式石墨纯化残余废气处理装置，包括高温炉的排气管道(1)，其特征在于：所述高温炉的排气管道(1)的一端固定连接有废气进接口法兰(2)，所述高温炉的排气管道(1)的一侧外设置有第四箱体(19)，所述第四箱体(19)内设置有出气管(4)和冷却水(5)，所述出气管(4)的两端均贯穿第四箱体(19)的侧壁设置在第四箱体(19)外，所述出气管(4)内设置有废气进气阀(3)，所述出气管(4)设置在第四箱体(19)外的一端与废气进接口法兰(2)固定连接，所述出气管(4)设置在第四箱体(19)外的另一端固定连接有第一金属快接插头(7)，所述第四箱体(19)的一侧外设置有第三箱体(2...
【技术特征摘要】
1.一种新式石墨纯化残余废气处理装置，包括高温炉的排气管道(1)，其特征在于：所述高温炉的排气管道(1)的一端固定连接有废气进接口法兰(2)，所述高温炉的排气管道(1)的一侧外设置有第四箱体(19)，所述第四箱体(19)内设置有出气管(4)和冷却水(5)，所述出气管(4)的两端均贯穿第四箱体(19)的侧壁设置在第四箱体(19)外，所述出气管(4)内设置有废气进气阀(3)，所述出气管(4)设置在第四箱体(19)外的一端与废气进接口法兰(2)固定连接，所述出气管(4)设置在第四箱体(19)外的另一端固定连接有第一金属快接插头(7)，所述第四箱体(19)的一侧外设置有第三箱体(21)，所述第三箱体(21)内设置有多层活性炭过滤板(8)，所述多层活性炭过滤板(8)内设置有第一连接管(20)，所述第一连接管(20)的一端贯穿第三箱体(21)的侧壁设置在第三箱体(21)外，所述第一连接管(20)设置在第三箱体(21)外的一端与第一金属快接插头(7)固定连接，所述第三箱体(21)的一侧外设置有第二箱体(23)，所述第二箱体(23)内设置有固态氢氧化钠(11)和液态氢氧化钠(12)，所述液态氢氧化钠(12)设置在固态氢氧化钠(11)的下方，所述液态氢氧化钠(12)内设置有第二连接管(22)，所述第二连接管(22)的一端贯穿第二箱体(23)的侧壁设置在第二箱体(23)外，所述第二连接管(22)设置在第二箱体(23)外的一端贯穿第三箱体(21)的侧壁设置在第三箱体(21)内，所述第二箱体(23)的一侧外设置有第一箱体(18)，所述第一箱体(18)内设置有水(15)，所述水(15)内设置有第三连接管(24)，所述第三连接管(24)的一端贯穿第一箱体(18)的侧壁设置在第一箱体(18)外，所述第三连接管(24)设置在第一箱体(18)外的一端贯穿第二箱体(23)的侧壁设置在第二箱体(23)内，所述第一箱体(18)的侧壁固定连接有管体(25)。
2.根据权利要求1所述的一种新式石墨纯化残余废气处理装置，其特征在于：所述冷却水(5)内设置有冷却水温度计(6)。
3.根据权利要求1所述的一种新式石墨纯化残余废气处理装置，其特征在于：所述第三连接管(24)内设置有第二密封阀(13)，所述第三连接管(24)外固定连接有第三金属快接插头(14)。
4.根据权利要求1所述的一种新式石墨纯化残余废气处理装置，其特征在于：所述第二连接管(22)内设置有第一密封阀(10)，所述第二连接管(22)外固定连接有第二金属快接插头(9)。
5.根据权利要求1所述的一种新式石墨纯化残余...
【专利技术属性】
技术研发人员：付善任，张红，夏倩倩，
申请(专利权)人：上海岚玥新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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