一种适用于超净间的大负载高精度水平运动结构制造技术

一种适用于超净间的大负载高精度水平运动结构，包括传动结构、骨架结构和正面保护结构；骨架结构用于固定传动结构和正面保护结构；传动结构置于正面保护结构内；正面保护结构包括密封带、支撑辅助轮和正面板；密封带与传动结构固定连接，与支撑辅助轮传动连接；支撑辅助轮固定安装在骨架结构和传动结构上；正面板上设有轨道槽；密封带覆盖在轨道槽上，将传动装置正面的面板轨道槽遮蔽起来，减少了传动装置内部与外部环境的空气对流，满足高等级超净间的要求。本实用新型专利技术的传动结构采用了两根直线导轨，分别安装在相互垂直两个面上，这种结构设计能提高水平运动结构的负载能力和稳定性。采用同步带和步带轮做为传动机构，提高位置控制的精度。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于超净间的大负载高精度水平运动结构
本技术涉及传动装置
，特别涉及一种一种适用于超净间的大负载高精度水平运动结构。
技术介绍
随着半导体加工制造技术的不断发展，半导体加工工艺的复杂度逐渐提升，制造流程也越来越繁琐，一个工艺步骤有可能需要多个工作单元才能完成。为了加快晶圆在各个工作单元之间传递的节奏，提高各工作单元工作效率，达到提高生产效率的目的，半导体制造产线逐渐由放射状分布向直线分布的模式转变。这样就需要一种可以在高等级超净间使用的高精度水平运动装置来传送晶圆搬运机器人，使其能够在水平直线方向高速准确的移动，从而扩大机器人的工作范围，以适应直线型生产线的设计需要。这种水平运动装置应满足大负载的需求，并且全行程运动稳定性好，位置控制精度高，并能够满足高等级净化超净间的使用要求。目前，该类技术和产品在国内尚属发展阶段，少有成熟可靠的设计方案，这是限制国内半导体生产和制造行业发展的技术短板之一。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种能够满足高等级超净间使用要求的大负载高精度水平运动结构。本技术是通过以下技术方案本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于超净间的大负载高精度水平运动结构，包括传动结构和骨架结构，其特征在于，还包括正面保护结构；所述的骨架结构用于固定传动结构和正面保护结构；所述的传动结构置于正面保护结构内；所述的正面保护结构包括密封带(5)、支撑辅助轮(4)和正面板(8)；密封带(5)与传动结构固定连接，与支撑辅助轮(4)传动连接；支撑辅助轮(4)固定安装在骨架结构和传动结构上；所述的正面板(8)上设有轨道槽(81)；密封带(5)覆盖在轨道槽上。/n

【技术特征摘要】
1.一种适用于超净间的大负载高精度水平运动结构，包括传动结构和骨架结构，其特征在于，还包括正面保护结构；所述的骨架结构用于固定传动结构和正面保护结构；所述的传动结构置于正面保护结构内；所述的正面保护结构包括密封带(5)、支撑辅助轮(4)和正面板(8)；密封带(5)与传动结构固定连接，与支撑辅助轮(4)传动连接；支撑辅助轮(4)固定安装在骨架结构和传动结构上；所述的正面板(8)上设有轨道槽(81)；密封带(5)覆盖在轨道槽上。


2.根据权利要求1所述的一种适用于超净间的大负载高精度水平运动结构，其特征在于，所述的轨道槽(81)和密封带(5)各有两个，支撑辅助轮(4)有四个，一个密封带(5)与两个支撑辅助轮(4)传动连接。


3.根据权利要求1所述的一种适用于超净间的大负载高精度水平运动结构，其特征在于，所述的骨架结构包括底部基座(10)、导轨支架(11)、支撑架(12)和从动轮安装架(15)，所述的导轨支架(11)、支撑架(12)和从动轮安装架(15)分别固定安装在底部基座(10)上；导轨支架(11)具有第一支架(111)和第二支架(112)；支撑架(12)上固定安装支撑辅助轮(4)。


4.根据权利要求3所述的一种适用于超净间的大负载高精度水平运动结构，其特征在于，所述的传动结构包括运动底座(1)、同步带(2)、同步带安装板(18)、电机(3)、减速机(6)、限位防撞块(7)、外部安装板(9)、第一直线导轨(17)、第二直线导轨(13)、从动轮(14)、从动轮稳定轴(16)和防撞块(19)；

【专利技术属性】
技术研发人员：何瑞，郭梅，刘丹，韩浚源，
申请(专利权)人：昀智科技北京有限责任公司，
类型：新型
国别省市：北京;11