【技术实现步骤摘要】
薄膜光波导
本技术涉及一种薄膜光波导。
技术介绍
二维晶格亚波长薄膜光波导是一种利用亚波长特性的新型单模光波导。这种光波导由包括二氧化硅薄膜、光波导介质薄膜、设置在所述光波导介质薄膜中心的二维晶格薄膜材料夹层、以及包覆所述光波导介质薄膜和二维晶格薄膜材料夹层的二氧化硅包层组成。光波导中的二维晶格的晶格常数一般在400nm以下，远低于传播的光波长，光的衍射被抑制，因此可以等价于均匀介质光波导，非常适合传统光通信1310nm和1550nm的波长范围。该光波导的低损耗特性，使其成为多种光电器件如马赫曾德尔调制器、微环共振器等器件的理想光波导结构。常见的光波导介质薄膜材料，如硅、掺杂二氧化硅或铌酸锂都具有正热光系数，因此在温度升高时其折射率也会升高，造成光波导的有效折射率增大。由于光波导的有效折射率是器件性能的重要参数之一，有效折射率在温度升高时而增大会严重影响器件的工作效能。在光波导的正常使用过程中，其温度往往会有较大变化，因此热稳定性是决定一个光波导实际应用能力的重要因素之一。常用控温手段包括根据反馈主动调节的温控系统，然而这种...
【技术保护点】
1.一种薄膜光波导，包括硅基衬底以及设置在所述硅基衬底上的包层，其特征在于，所述薄膜光波导还包括设置在所述硅基衬底上的光波导芯层，所述光波导芯层设于所述包层之中并且所述光波导芯层折射率高于所述包层的折射率，所述光波导芯层包括双层光波导介质薄膜以及设置于所述双层光波导介质薄膜之间的薄膜材料夹层，所述薄膜材料夹层为二维晶格亚波长结构，所述薄膜材料夹层为用以对所述光波导介质薄膜进行热光系数补偿的负热光系数材料。/n
【技术特征摘要】
1.一种薄膜光波导，包括硅基衬底以及设置在所述硅基衬底上的包层，其特征在于，所述薄膜光波导还包括设置在所述硅基衬底上的光波导芯层，所述光波导芯层设于所述包层之中并且所述光波导芯层折射率高于所述包层的折射率，所述光波导芯层包括双层光波导介质薄膜以及设置于所述双层光波导介质薄膜之间的薄膜材料夹层，所述薄膜材料夹层为二维晶格亚波长结构，所述薄膜材料夹层为用以对所述光波导介质薄膜进行热光系数补偿的负热光系数材料。
2.如权利要求1所述的薄膜光波导，其特征在于，所述负热光系数材料为二氧化钛、氧化锌和镁掺杂氧化锌中的一种。
3.如权利要求1所述的薄膜光波导，其特征在于，所述负热光系数材料的有效热光系数与所述负热光系数材料的厚度负相关。
4.如权利要求1所述的薄膜光波导，其特征在于，所述光...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈亦凡，黄萌，
申请(专利权)人：易锐光电科技安徽有限公司，苏州易锐光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。