【技术实现步骤摘要】
薄膜光波导
本技术涉及一种薄膜光波导。
技术介绍
目前在光通信领域中，基于亚波长光栅结构的光波导由于其低损耗、有效折射率可调等优势被广泛关注。其中，二维晶格亚波长薄膜波导结构相比一维亚波长光栅结构具有更高的参数自由度，可大范围、准确的设计光波导的有效折射率，因此具有广泛的应用前景。光波导的有效折射率是表征其性能的重要参数之一，对各种光电器件的影响巨大，因此是决定光波导材料和结构的重要指标。对于二维晶格亚波长薄膜波导结构，光在不同方向传播的有效折射率都有所不同，这对于某些特定光学器件的工作性能产生影响。同时，对于有弯曲波导结构的光学器件，如微环共振器，各向异性的有效折射率对于设计和工艺也是一种挑战。以微环共振器为例，为保证光在弯曲的光波导传播具有相同的有效折射率，需要在设计过程中不断改变二维晶格的方向。同时，由于微环共振器的内径和外径的差异，还需要在靠近内径一侧和靠近外径一侧不断改变二维晶格的晶格常数和占空比，以保持相同的有效折射率。这种设计方式不但设计上的复杂度，在制备过程中，工艺误差也可能会对器件性能产生巨大影响。
【技术保护点】
1.一种薄膜光波导，包括硅基衬底以及设置在所述硅基衬底上的包层，其特征在于，所述薄膜光波导还包括设置在所述硅基衬底上的光波导芯层，所述光波导芯层设于所述包层之中并且所述光波导芯层折射率高于所述包层的折射率，所述光波导芯层包括双层光波导介质薄膜以及设置于所述双层光波导介质薄膜之间的薄膜材料夹层，所述薄膜材料夹层为二维晶格亚波长结构，所述二维晶格亚波长结构的有效晶格常数和占空比在各个传播方向上近似相同。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种薄膜光波导，包括硅基衬底以及设置在所述硅基衬底上的包层，其特征在于，所述薄膜光波导还包括设置在所述硅基衬底上的光波导芯层，所述光波导芯层设于所述包层之中并且所述光波导芯层折射率高于所述包层的折射率，所述光波导芯层包括双层光波导介质薄膜以及设置于所述双层光波导介质薄膜之间的薄膜材料夹层，所述薄膜材料夹层为二维晶格亚波长结构，所述二维晶格亚波长结构的有效晶格常数和占空比在各个传播方向上近似相同。
2.如权利要求1所述的薄膜光波导，其特征在于，所述二维晶格亚波长结构包括晶格点，所述有效晶格常数和所述占空比由所述晶格点的形状以及长宽确定。
技术研发人员：陈亦凡，黄萌，
申请(专利权)人：易锐光电科技安徽有限公司，苏州易锐光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34
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