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本实用新型设计一种薄膜光波导，包括硅基衬底、设置在硅基衬底上的包层以及设置在硅基衬底上的光波导芯层，光波导芯层设于包层之中并且光波导芯层折射率高于包层的折射率，光波导芯层包括双层光波导介质薄膜以及设置于双层光波导介质薄膜之间的薄膜材料夹层，...该专利属于易锐光电科技(安徽)有限公司;苏州易锐光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过易锐光电科技(安徽)有限公司;苏州易锐光电科技有限公司授权不得商用。